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如何在纳米硅颗粒表面用CVD方法沉积碳
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| 大家好，本人想在纳米硅表面用CVD方法沉积一层碳，但是使用CVD方法时是不是需要在管式炉里抽真空，那样我的硅粉末不就抽没了，请问有懂CVD的指点指点小弟，多谢了 |
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