24小时热门版块排行榜    

Znn3bq.jpeg
查看: 1368  |  回复: 8
当前只显示满足指定条件的回帖,点击这里查看本话题的所有回帖

FLYFWY

木虫 (小有名气)

[求助] 薄膜应力控制 已有3人参与

我用磁控溅射制备金属多层膜(A/B/A/B……这种结构),厚度um量级。
膜稍微镀厚一点(几十um),镀完膜取样就会发现膜已从基片
上整体脱离(有的膜系是张应力,有的是压应力)。镀薄了对我来说又没用,
所以想控制薄膜的应力,使其能尽量镀厚而不脱落。

1.镀完膜再退一遍火是否能降低薄膜应力从而抑制膜脱落?
2.该从哪些方面来控制薄膜应力呢?基片热膨胀系数,膜系
设计,烘烤温度??
请虫友们指点一二,不胜感激!
回复此楼

» 收录本帖的淘帖专辑推荐

薄膜制备与特性

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐,对您同样有帮助:

已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

FLYFWY

木虫 (小有名气)

引用回帖:
8楼: Originally posted by boboxinxue07 at 2015-05-27 14:35:28
你确定磁控溅射可以做这么厚不掉膜,一般CVD可以做几十个μ,磁控溅射我还真没有听说过,我觉得是你用的这种方法它本省就是有它的极限的,你可以再咨询一下行家。如果真是这样,你该换方法了。

我现在能做30μm左右,不知道能不能再往厚了做,谢谢提醒!我再发个帖问问~~
9楼2015-05-29 15:09:40
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 9 个回答

xsz2013

铜虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
建议把调制周期设置在100nm以下,增大周期数来提高厚度
2楼2015-05-13 17:16:32
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

deepspring5

新虫 (初入文坛)

你好,我是本科生,无法给你解答问题,我想请问一下这个磁控溅射用的铝耙一般在哪里买啊?
3楼2015-05-13 17:57:01
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

peterflyer

木虫之王 (文学泰斗)

peterflyer


【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
首先要考虑镀膜对基板的润湿性,要事先对基板表面进行处理,两者的润湿性越好则结合力越高;其次是尽量使基板和薄膜二者的热膨胀系数要接近一些。如果二者热膨胀系数差异太大,可考虑在其间增加一层过渡层,其热膨胀系数介于二者之间,以缓解热应力。
4楼2015-05-13 19:31:14
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 材料与化工调剂 +12 否极泰来2026 2026-04-10 13/650 2026-04-11 00:28 by wangjihu
[考研] 材料与化工调剂 10+11 下一站上岸@ 2026-04-10 33/1650 2026-04-11 00:27 by success5733
[考研] 368求调剂 +3 17385968172 2026-04-10 3/150 2026-04-10 20:12 by 电子奥德彪
[考研] 调剂 +24 不逢春 2026-04-07 25/1250 2026-04-10 09:39 by 690616278
[考研] 308求调剂 +21 倘若起风了呢 2026-04-05 21/1050 2026-04-10 08:13 by Sammy2
[考研] 工科273调剂 +5 X1999 2026-04-09 6/300 2026-04-10 07:52 by 1753564080
[考研] 一志愿2110,化学学硕310分,本科重点双非求调剂 +18 努力奋斗112 2026-04-08 18/900 2026-04-09 23:28 by wolf97
[考研] 289求调剂 +4 L1ttleTiger 2026-04-04 4/200 2026-04-09 19:53 by xiayizhi
[考研] 求调剂希望还是希望在山河四省附近 +3 快乐的小白鸽 2026-04-05 3/150 2026-04-09 17:36 by wp06
[考研] 299求调剂 +6 ZVVZ13 2026-04-08 6/300 2026-04-09 15:48 by wp06
[考研] 291求调剂 +7 关忆北. 2026-04-09 8/400 2026-04-09 15:17 by 探123
[考研] 085801 总分275 本科新能源 求调剂 +8 bradoner 2026-04-08 9/450 2026-04-09 13:43 by only周
[考研] 308求调剂 +17 墨墨漠 2026-04-06 17/850 2026-04-09 09:25 by 壹往無前
[考研] 材料工程专业日语生求调剂 +9 111623 2026-04-07 9/450 2026-04-07 23:31 by 一只好果子?
[考研] 344求调剂 +11 魏子per 2026-04-07 11/550 2026-04-07 23:01 by JourneyLucky
[考研] 081200-11408-367学硕求调剂 +4 1_2_3111 2026-04-06 4/200 2026-04-07 08:13 by jp9609
[考研] 307求调剂 +3 所念及所望 2026-04-06 3/150 2026-04-06 17:30 by 土木硕士招生
[考研] 材料调剂 +14 壹贰贰亿 2026-04-04 14/700 2026-04-05 23:31 by 来看流星雨10
[考研] 求调剂到0856材料工程 +3 程9915 2026-04-05 3/150 2026-04-05 18:15 by 蓝云思雨
[考研] 358求调剂 +7 秋gk 2026-04-04 7/350 2026-04-05 13:29 by huangmoli
信息提示
请填处理意见