| 查看: 1649 | 回复: 8 | |||
FLYFWY木虫 (小有名气)
|
[求助]
薄膜应力控制 已有3人参与
|
|
我用磁控溅射制备金属多层膜（A/B/A/B……这种结构），厚度um量级。 膜稍微镀厚一点（几十um)，镀完膜取样就会发现膜已从基片 上整体脱离（有的膜系是张应力，有的是压应力）。镀薄了对我来说又没用， 所以想控制薄膜的应力，使其能尽量镀厚而不脱落。 1.镀完膜再退一遍火是否能降低薄膜应力从而抑制膜脱落？ 2.该从哪些方面来控制薄膜应力呢？基片热膨胀系数，膜系 设计，烘烤温度？？ 请虫友们指点一二，不胜感激！ |
回复此楼» 收录本帖的淘帖专辑推荐
 薄膜制备与特性 |
» 猜你喜欢
修改论文，如何借助其他力量？
已经有4人回复
-
中山大学潘越教授课题组2027级推免硕士研究生招生 新增一个专业医学技术名额
已经有21人回复
-
金属材料论文润色/翻译怎么收费?
已经有271人回复
» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
- 形变金属材料内应力分析
已经有6人回复
- 硅片表面的金属薄膜经过高温处理后形成纳米颗粒的原因
已经有9人回复
- 离子束沉积薄膜技术及应用-刘金声 著
已经有85人回复
- 高分子结晶 成核控制 扩散控制？
已经有24人回复
- 流延出来的薄膜表面很粗糙。。。。求教
已经有3人回复
- 薄膜中的应力如何释放
已经有4人回复
- 金属应力检测方法,降低应力方法
已经有10人回复
- ansys波纹管波峰波谷处的环向应力（薄膜应力）怎么获取？
已经有7人回复
- 外延生长薄膜质量问题
已经有3人回复
- 请教当衬底与薄膜之间存在失配时，失配应力对薄膜生长有何影响？
已经有7人回复
- 请教：什么是应力遮蔽现象？
已经有8人回复
- 通过怎样参杂使得二氧化硅薄膜的折射率在1.440--1.445之间
已经有6人回复
- 两层膜之间热膨胀系数差异较大，造成应力增加，会使得界面粗糙度增加吗？
已经有11人回复
- 寻找掩膜材料，提高深宽比
已经有8人回复
- 圆柱体内应力分布
已经有8人回复
- 关于平板弯曲的挠度很大，只考虑薄膜应力情况，哪位大侠能指点指点，提供点资料
已经有6人回复
- 如何测定塑料的内应力？
已经有3人回复
- 请问：如何测定材料的内应力？
已经有3人回复
- 铁电薄膜上长Pt电极
已经有16人回复
- 【求助】请教为什么有人用磁控溅射金属膜用的是射频电源
已经有21人回复
- 【求助】请教应力释放剂是啥东西
已经有3人回复
- 【求助】高分子膜材料受热收缩有哪些原因？
已经有14人回复
- 【求助】如何将高分子薄膜从基底上剥离下来？
已经有11人回复
2楼2015-05-13 17:16:32
3楼2015-05-13 17:57:01
peterflyer 
木虫之王 (文学泰斗)
peterflyer
- 应助: 20282 (院士)
- 金币: 146643
- 红花: 1374
- 帖子: 93091
- 在线: 7695.2小时
- 虫号: 1482829
- 注册: 2011-11-08
- 性别: GG
- 专业: 功能陶瓷
4楼2015-05-13 19:31:14
FLYFWY
木虫 (小有名气)
- 应助: 1 (幼儿园)
- 金币: 3611.8
- 红花: 1
- 帖子: 160
- 在线: 113小时
- 虫号: 747879
- 注册: 2009-04-13
- 专业: 光学信息获取与处理
5楼2015-05-14 09:08:48
FLYFWY
木虫 (小有名气)
- 应助: 1 (幼儿园)
- 金币: 3611.8
- 红花: 1
- 帖子: 160
- 在线: 113小时
- 虫号: 747879
- 注册: 2009-04-13
- 专业: 光学信息获取与处理
6楼2015-05-14 09:10:42
7楼2015-05-14 15:47:27
8楼2015-05-27 14:35:28
FLYFWY
木虫 (小有名气)
- 应助: 1 (幼儿园)
- 金币: 3611.8
- 红花: 1
- 帖子: 160
- 在线: 113小时
- 虫号: 747879
- 注册: 2009-04-13
- 专业: 光学信息获取与处理
9楼2015-05-29 15:09:40
