24小时热门版块排行榜    

查看: 1339  |  回复: 8
当前只显示满足指定条件的回帖,点击这里查看本话题的所有回帖

FLYFWY

木虫 (小有名气)

[求助] 薄膜应力控制 已有3人参与

我用磁控溅射制备金属多层膜(A/B/A/B……这种结构),厚度um量级。
膜稍微镀厚一点(几十um),镀完膜取样就会发现膜已从基片
上整体脱离(有的膜系是张应力,有的是压应力)。镀薄了对我来说又没用,
所以想控制薄膜的应力,使其能尽量镀厚而不脱落。

1.镀完膜再退一遍火是否能降低薄膜应力从而抑制膜脱落?
2.该从哪些方面来控制薄膜应力呢?基片热膨胀系数,膜系
设计,烘烤温度??
请虫友们指点一二,不胜感激!
回复此楼

» 收录本帖的淘帖专辑推荐

薄膜制备与特性

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐,对您同样有帮助:

已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

boboxinxue07

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

你确定磁控溅射可以做这么厚不掉膜,一般CVD可以做几十个μ,磁控溅射我还真没有听说过,我觉得是你用的这种方法它本省就是有它的极限的,你可以再咨询一下行家。如果真是这样,你该换方法了。
8楼2015-05-27 14:35:28
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 9 个回答

xsz2013

铜虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
建议把调制周期设置在100nm以下,增大周期数来提高厚度
2楼2015-05-13 17:16:32
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

deepspring5

新虫 (初入文坛)

你好,我是本科生,无法给你解答问题,我想请问一下这个磁控溅射用的铝耙一般在哪里买啊?
3楼2015-05-13 17:57:01
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

peterflyer

木虫之王 (文学泰斗)

peterflyer


【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
首先要考虑镀膜对基板的润湿性,要事先对基板表面进行处理,两者的润湿性越好则结合力越高;其次是尽量使基板和薄膜二者的热膨胀系数要接近一些。如果二者热膨胀系数差异太大,可考虑在其间增加一层过渡层,其热膨胀系数介于二者之间,以缓解热应力。
4楼2015-05-13 19:31:14
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[论文投稿] 申请回稿延期一个月,编辑同意了。但系统上的时间没变,给编辑又写邮件了,没回复 10+3 wangf9518 2026-03-17 4/200 2026-03-19 23:55 by babero
[考研] 材料学硕318求调剂 +5 February_Feb 2026-03-19 5/250 2026-03-19 23:51 by 23Postgrad
[考研] 0703化学调剂 +10 妮妮ninicgb 2026-03-15 14/700 2026-03-19 22:59 by 学员8dgXkO
[考研] 296求调剂 +3 www_q 2026-03-18 6/300 2026-03-19 22:28 by zhq0425
[考博] 申博26年 +3 八6八68 2026-03-19 3/150 2026-03-19 19:43 by nxgogo
[考研] 321求调剂 +8 何润采123 2026-03-18 10/500 2026-03-19 16:46 by 何润采123
[考研] 化学求调剂 +3 临泽境llllll 2026-03-17 4/200 2026-03-19 13:59 by houyaoxu
[考研] 085410人工智能专硕317求调剂(0854都可以) +3 xbxudjdn 2026-03-18 3/150 2026-03-18 22:14 by zhq0425
[考研] 344求调剂 +6 knight344 2026-03-16 7/350 2026-03-18 20:13 by walc
[考研] 化学工程321分求调剂 +15 大米饭! 2026-03-15 18/900 2026-03-18 14:52 by haxia
[考研] 085601专硕,总分342求调剂,地区不限 +5 share_joy 2026-03-16 5/250 2026-03-18 14:48 by haxia
[考研] 331求调剂(0703有机化学 +7 ZY-05 2026-03-13 8/400 2026-03-18 14:13 by 007_lilei
[考研] 293求调剂 +11 zjl的号 2026-03-16 16/800 2026-03-18 08:10 by zhukairuo
[基金申请] 被我言中:新模板不强调格式了,假专家开始管格式了 +4 beefly 2026-03-14 4/200 2026-03-17 22:04 by 黄鸟于飞Chao
[考研] [导师推荐]西南科技大学国防/材料导师推荐 +3 尖角小荷 2026-03-16 6/300 2026-03-16 23:21 by 尖角小荷
[考研] 机械专硕325,寻找调剂院校 +3 y9999 2026-03-15 5/250 2026-03-16 19:58 by y9999
[考研] 中科院材料273求调剂 +4 yzydy 2026-03-15 4/200 2026-03-16 15:59 by Gaodh_82
[考研] 326求调剂 +3 mlpqaz03 2026-03-15 3/150 2026-03-16 07:33 by Iveryant
[考研] 085601材料工程315分求调剂 +3 yang_0104 2026-03-15 3/150 2026-03-15 10:58 by peike
[考研] 本科南京大学一志愿川大药学327 +3 麦田耕者 2026-03-14 3/150 2026-03-14 20:04 by 外星文明
信息提示
请填处理意见