应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 合成表征 » 薄膜应力控制
北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
91/1返回列表
查看: 1353  |  回复: 8
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看

FLYFWY

木虫 (小有名气)

[求助] 薄膜应力控制 已有3人参与

我用磁控溅射制备金属多层膜（A/B/A/B……这种结构），厚度um量级。
膜稍微镀厚一点（几十um)，镀完膜取样就会发现膜已从基片
上整体脱离（有的膜系是张应力，有的是压应力）。镀薄了对我来说又没用，
所以想控制薄膜的应力，使其能尽量镀厚而不脱落。

1.镀完膜再退一遍火是否能降低薄膜应力从而抑制膜脱落？
2.该从哪些方面来控制薄膜应力呢？基片热膨胀系数，膜系
设计，烘烤温度？？
请虫友们指点一二，不胜感激！
回复此楼

» 收录本帖的淘帖专辑推荐

薄膜制备与特性

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
1楼 2015-05-13 15:13:51
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

xsz2013

铜虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
建议把调制周期设置在100nm以下，增大周期数来提高厚度
赞一下 回复此楼
2楼2015-05-13 17:16:32
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

deepspring5

新虫 (初入文坛)
你好，我是本科生，无法给你解答问题，我想请问一下这个磁控溅射用的铝耙一般在哪里买啊？
赞一下 回复此楼
3楼2015-05-13 17:57:01
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

peterflyer

木虫之王 (文学泰斗)

peterflyer

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
首先要考虑镀膜对基板的润湿性，要事先对基板表面进行处理，两者的润湿性越好则结合力越高；其次是尽量使基板和薄膜二者的热膨胀系数要接近一些。如果二者热膨胀系数差异太大，可考虑在其间增加一层过渡层，其热膨胀系数介于二者之间，以缓解热应力。
赞一下(1人) 回复此楼
4楼2015-05-13 19:31:14
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

FLYFWY

木虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by xsz2013 at 2015-05-13 17:16:32
建议把调制周期设置在100nm以下，增大周期数来提高厚度

我也试过降低调制周期，镀300多周期就会脱膜。
请问你也是做多层膜的吗？哪个方向呢？
赞一下 回复此楼
5楼2015-05-14 09:08:48
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

FLYFWY

木虫 (小有名气)
引用回帖:
3楼: Originally posted by deepspring5 at 2015-05-13 17:57:01
你好，我是本科生，无法给你解答问题，我想请问一下这个磁控溅射用的铝耙一般在哪里买啊？

靶材公司很多啊，北京有色金属研究院，合肥科晶，欧莱靶材这些都可以。
赞一下 回复此楼
6楼2015-05-14 09:10:42
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

xsz2013

铜虫 (小有名气)
引用回帖:
5楼: Originally posted by FLYFWY at 2015-05-14 09:08:48
我也试过降低调制周期，镀300多周期就会脱膜。
请问你也是做多层膜的吗？哪个方向呢？...

你的调制周期多大？我做的是复合，是我同学做多层，我同学的经验是这样

[ 发自小木虫客户端 ]
赞一下 回复此楼
7楼2015-05-14 15:47:27
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

boboxinxue07

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

你确定磁控溅射可以做这么厚不掉膜，一般CVD可以做几十个μ，磁控溅射我还真没有听说过，我觉得是你用的这种方法它本省就是有它的极限的，你可以再咨询一下行家。如果真是这样，你该换方法了。
赞一下 回复此楼
8楼2015-05-27 14:35:28
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

FLYFWY

木虫 (小有名气)
引用回帖:
8楼: Originally posted by boboxinxue07 at 2015-05-27 14:35:28
你确定磁控溅射可以做这么厚不掉膜，一般CVD可以做几十个μ，磁控溅射我还真没有听说过，我觉得是你用的这种方法它本省就是有它的极限的，你可以再咨询一下行家。如果真是这样，你该换方法了。

我现在能做30μm左右，不知道能不能再往厚了做，谢谢提醒！我再发个帖问问~~
赞一下 回复此楼
9楼2015-05-29 15:09:40
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 FLYFWY 的主题更新
91/1返回列表
普通表情 龙 兔 虎 猫
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 环境工程 085701，267求调剂 +6 minht 2026-03-29 6/300 2026-03-29 16:21 by 学员8dgXkO
[考研] 296求调剂 +3 彼岸t 2026-03-29 3/150 2026-03-29 14:18 by 无际的草原
[考研] 311求调剂 +5 冬十三 2026-03-24 5/250 2026-03-29 08:55 by qingfeng258
[硕博家园] 招收生物学/细胞生物学调剂 +4 IceGuo 2026-03-26 5/250 2026-03-29 01:25 by griffith2014
[考研] 学硕274求调剂 +9 Li李鱼 2026-03-26 9/450 2026-03-28 21:42 by bymhappy
[考研] 求调剂 +7 争取九点睡 2026-03-28 8/400 2026-03-28 21:07 by 争取九点睡
[考研] 083000学硕274求调剂 +8 Li李鱼 2026-03-26 8/400 2026-03-28 20:33 by 加油向未来啊
[考研] 295材料工程专硕求调剂 +7 1428151015 2026-03-27 7/350 2026-03-28 19:58 by S240
[考研] 一志愿华北电力大学能动专硕，293，求调剂 +3 15537177284 2026-03-23 5/250 2026-03-28 16:11 by xxxsssccc
[考研] 一志愿北京工业大学，324分求调剂 +4 零八# 2026-03-28 4/200 2026-03-28 15:01 by 17865157980
[考研] 085701环境工程，267求调剂 +16 minht 2026-03-26 16/800 2026-03-28 12:16 by zllcz
[考研] 085404求调剂，总分309，本科经历较为丰富 +4 来财aa 2026-03-25 4/200 2026-03-28 07:41 by 棒棒球手
[考研] 086502化学工程342求调剂 +6 阿姨复古不过 2026-03-27 6/300 2026-03-28 07:06 by wangy0907
[考研] 330一志愿中国海洋大学 化学工程 085602 有读博意愿 求调剂 +3 wywy.. 2026-03-27 4/200 2026-03-28 03:32 by fmesaito
[考研] 276求调剂。有半年电池和半年高分子实习经历 +10 材料学257求调剂 2026-03-23 11/550 2026-03-27 10:13 by YCIT- LHL
[考研] 材料调剂 +8 匹克i 2026-03-23 8/400 2026-03-27 08:11 by hypershenger
[考研] 317求调剂 +7 蛋黄咸肉粽 2026-03-26 7/350 2026-03-27 02:29 by fmesaito
[考研] 342求调剂 +3 加油a李zs 2026-03-26 3/150 2026-03-27 00:29 by wxiongid
[考研] 材料专硕331求调剂 +4 鲜当牛 2026-03-24 4/200 2026-03-24 15:58 by JourneyLucky
[考研] 341求调剂(一志愿湖南大学070300) +5 番茄头--- 2026-03-22 6/300 2026-03-23 23:45 by Txy@872106
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭