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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 测试表征 » （有好答案的话追加金币）磁控溅射制备的氧化铝薄膜，怎样确定铝和氧的原子比
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CHN1314

金虫 (正式写手)

[求助] （有好答案的话追加金币）磁控溅射制备的氧化铝薄膜，怎样确定铝和氧的原子比已有3人参与

在单晶硅片上用磁控溅射制备了氧化铝薄膜，想知道薄膜中铝和氧的原子比。本来要用扫描电镜打能谱测试的，结果听人家说这样测出的氧含量是不准的，那么问题来了，怎么测试才比较准呢？PS：由于是磁控溅射低温制备的薄膜，所以很有可能是非晶态的。
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1楼2015-04-19 09:46:27
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dwysd

木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
首先要考虑为什么确定Al/O比，要求的精度是多少？
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2楼2015-04-19 11:50:23
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zjlenny

木虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
要么用化学滴定法
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3楼2015-04-19 11:56:50
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CHN1314

金虫 (正式写手)
引用回帖:
3楼: Originally posted by zjlenny at 2015-04-19 11:56:50
要么用化学滴定法

这是薄膜啊   固态的
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4楼2015-04-19 15:44:42
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CHN1314

金虫 (正式写手)
引用回帖:
2楼: Originally posted by dwysd at 2015-04-19 11:50:23
首先要考虑为什么确定Al/O比，要求的精度是多少？

因为制备的薄膜希望尽可能是符合化学计量比的膜，这样会满足折射率和透过率的要求。精度不是要求特别高   但也不能差太多
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5楼2015-04-19 15:46:26
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dwysd

木虫 (著名写手)
引用回帖:
5楼: Originally posted by CHN1314 at 2015-04-19 15:46:26
因为制备的薄膜希望尽可能是符合化学计量比的膜，这样会满足折射率和透过率的要求。精度不是要求特别高   但也不能差太多...

XPS可以准确测定Al/O比。
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6楼2015-04-19 17:06:06
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ghli

新虫 (小有名气)
很简单，XPS就可以!!!!!!!!!!!!
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Incipient
7楼2015-04-19 21:12:45
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钦点木瓜

金虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
XPS可以满足你的要求
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用绳命来搞科研
8楼2015-04-20 11:11:08
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小海孩

银虫 (小有名气)
电子探针也可以
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科研
9楼2015-05-11 09:34:36
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