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CHN1314

金虫 (正式写手)

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专业: 半导体材料

[求助] （有好答案的话追加金币）磁控溅射制备的氧化铝薄膜，怎样确定铝和氧的原子比已有3人参与

在单晶硅片上用磁控溅射制备了氧化铝薄膜，想知道薄膜中铝和氧的原子比。本来要用扫描电镜打能谱测试的，结果听人家说这样测出的氧含量是不准的，那么问题来了，怎么测试才比较准呢？PS：由于是磁控溅射低温制备的薄膜，所以很有可能是非晶态的。

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1楼2015-04-19 09:46:27

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ghli

新虫 (小有名气)

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很简单，XPS就可以!!!!!!!!!!!!

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Incipient

7楼2015-04-19 21:12:45

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