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gaokaoheima

银虫 (小有名气)

[求助] Si薄膜上金电极的退火 已有3人参与

我在Si薄膜两端镀上了金,形成了金属-半导体-金属结构,但金的厚度只有7、8个纳米,请问各位大侠,怎样的退火条件才能形成较好的电极接触?
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gaokaoheima

银虫 (小有名气)

引用回帖:
4楼: Originally posted by metaliium at 2015-04-02 02:20:15
七八个纳米成膜肯定是成膜了,但进一步接线太薄,起码30个纳米吧。。。另外不要省略粘合层啊,Ti、Cr又不贵。。。= =

用肉眼看肯定是成膜了,这么薄我不太想打算接线,直接贴导电胶在电极上作为导线不知道行不行
5楼2015-04-13 20:36:44
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gxytju2008

专家顾问 (文坛精英)

【答案】应助回帖


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gaokaoheima: 金币+1, 有帮助 2015-04-13 20:34:15
这么薄。。金应该还是岛状排布的,没有铺满啊,估计导电性不是很好的
2楼2015-04-01 20:48:11
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cord

铁杆木虫 (著名写手)


【答案】应助回帖


感谢参与,应助指数 +1
gaokaoheima: 金币+1 2015-04-13 20:34:20
楼上说得是,这么薄先确定有没有成膜。
没有完整成膜的话,你测试接触的可能是硅片了。
3楼2015-04-02 01:18:41
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metaliium

银虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★ ★
感谢参与,应助指数 +1
gaokaoheima: 金币+2, 有帮助 2015-04-13 20:34:33
七八个纳米成膜肯定是成膜了,但进一步接线太薄,起码30个纳米吧。。。另外不要省略粘合层啊,Ti、Cr又不贵。。。= =
4楼2015-04-02 02:20:15
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