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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳器件 » Si薄膜上金电极的退火
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gaokaoheima

银虫 (小有名气)

[求助] Si薄膜上金电极的退火已有3人参与

我在Si薄膜两端镀上了金，形成了金属-半导体-金属结构，但金的厚度只有7、8个纳米，请问各位大侠，怎样的退火条件才能形成较好的电极接触？
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1楼2015-04-01 18:20:08
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gxytju2008

专家顾问 (文坛精英)

【答案】应助回帖

★
感谢参与，应助指数 +1
gaokaoheima: 金币+1, ★有帮助 2015-04-13 20:34:15
这么薄。。金应该还是岛状排布的，没有铺满啊，估计导电性不是很好的
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2楼2015-04-01 20:48:11
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cord

铁杆木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

★
感谢参与，应助指数 +1
gaokaoheima: 金币+1 2015-04-13 20:34:20
楼上说得是，这么薄先确定有没有成膜。
没有完整成膜的话，你测试接触的可能是硅片了。
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3楼2015-04-02 01:18:41
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metaliium

银虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★ ★
感谢参与，应助指数 +1
gaokaoheima: 金币+2, ★有帮助 2015-04-13 20:34:33
七八个纳米成膜肯定是成膜了，但进一步接线太薄，起码30个纳米吧。。。另外不要省略粘合层啊，Ti、Cr又不贵。。。= =
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4楼2015-04-02 02:20:15
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gaokaoheima

银虫 (小有名气)
引用回帖:
4楼: Originally posted by metaliium at 2015-04-02 02:20:15
七八个纳米成膜肯定是成膜了，但进一步接线太薄，起码30个纳米吧。。。另外不要省略粘合层啊，Ti、Cr又不贵。。。= =

用肉眼看肯定是成膜了，这么薄我不太想打算接线，直接贴导电胶在电极上作为导线不知道行不行
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5楼2015-04-13 20:36:44
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gxytju2008

专家顾问 (文坛精英)
引用回帖:
5楼: Originally posted by gaokaoheima at 2015-04-13 20:36:44
用肉眼看肯定是成膜了，这么薄我不太想打算接线，直接贴导电胶在电极上作为导线不知道行不行...

肉眼。。太可以了，你在高分辨扫描下都不一定能看到它是不是黏在一起的还是分散分布的，如果是小的团簇的话，可以，建议导电铜胶带，或者银胶
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6楼2015-04-13 21:25:33
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metaliium

银虫 (正式写手)
引用回帖:
5楼: Originally posted by gaokaoheima at 2015-04-13 20:36:44
用肉眼看肯定是成膜了，这么薄我不太想打算接线，直接贴导电胶在电极上作为导线不知道行不行...

看你需要了，没有特别的力学要求或者大范围温度变化是可以的。。。
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7楼2015-04-14 02:44:11
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素写缤纷

新虫 (小有名气)
引用回帖:
4楼: Originally posted by metaliium at 2015-04-02 02:20:15
七八个纳米成膜肯定是成膜了，但进一步接线太薄，起码30个纳米吧。。。另外不要省略粘合层啊，Ti、Cr又不贵。。。= =

请问Ti,Cr除了粘结层外还有什么作用
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8楼2018-09-24 17:22:20
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