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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳器件 » Si薄膜上金电极的退火
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gaokaoheima

银虫 (小有名气)

[求助] Si薄膜上金电极的退火 已有3人参与

我在Si薄膜两端镀上了金，形成了金属-半导体-金属结构，但金的厚度只有7、8个纳米，请问各位大侠，怎样的退火条件才能形成较好的电极接触？
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1楼 2015-04-01 18:20:08
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metaliium

银虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★ ★
感谢参与，应助指数 +1
gaokaoheima: 金币+2, ★有帮助 2015-04-13 20:34:33
七八个纳米成膜肯定是成膜了，但进一步接线太薄，起码30个纳米吧。。。另外不要省略粘合层啊，Ti、Cr又不贵。。。= =
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4楼2015-04-02 02:20:15
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gxytju2008

专家顾问 (文坛精英)

【答案】应助回帖

★
感谢参与，应助指数 +1
gaokaoheima: 金币+1, ★有帮助 2015-04-13 20:34:15
这么薄。。金应该还是岛状排布的，没有铺满啊，估计导电性不是很好的
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2楼2015-04-01 20:48:11
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cord

铁杆木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

★
感谢参与，应助指数 +1
gaokaoheima: 金币+1 2015-04-13 20:34:20
楼上说得是，这么薄先确定有没有成膜。
没有完整成膜的话，你测试接触的可能是硅片了。
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3楼2015-04-02 01:18:41
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gaokaoheima

银虫 (小有名气)
引用回帖:
4楼: Originally posted by metaliium at 2015-04-02 02:20:15
七八个纳米成膜肯定是成膜了，但进一步接线太薄，起码30个纳米吧。。。另外不要省略粘合层啊，Ti、Cr又不贵。。。= =

用肉眼看肯定是成膜了，这么薄我不太想打算接线，直接贴导电胶在电极上作为导线不知道行不行
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5楼2015-04-13 20:36:44
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