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北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
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seekingalex

新虫 (初入文坛)


[求助] 求助! 请问光刻版在使用中怎么防静电? 已有1人参与

上张版子的结构在使用一段时间后出现了缺损,厂方说是因为静电的原因. 想请教一下, 在使用过程中怎么防止静电?或者使用一段时间后怎么给版子去静电?谢谢!
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seekingalex

新虫 (初入文坛)


引用回帖:
2楼: Originally posted by yswyx at 2015-03-31 16:23:43
工厂里在mask使用一段时间后,都会用含有CO2或者臭氧的去离子水对mask进行清洗。你在实验室可以用强氧化的酸液清洗。如果对沾污没要求,可以用碱液。

多谢!麻烦您再看一下我这个帖子,里面有几张版子问题处的照片
3楼2015-07-03 12:08:51
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yswyx

专家顾问 (著名写手)


【答案】应助回帖

★ ★
感谢参与,应助指数 +1
seekingalex: 金币+2, ★★★很有帮助 2015-07-03 12:09:48
工厂里在mask使用一段时间后,都会用含有CO2或者臭氧的去离子水对mask进行清洗。你在实验室可以用强氧化的酸液清洗。如果对沾污没要求,可以用碱液。
2楼2015-03-31 16:23:43
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seekingalex

新虫 (初入文坛)


引用回帖:
2楼: Originally posted by yswyx at 2015-03-31 16:23:43
工厂里在mask使用一段时间后,都会用含有CO2或者臭氧的去离子水对mask进行清洗。你在实验室可以用强氧化的酸液清洗。如果对沾污没要求,可以用碱液。

http://muchong.com/bbs/viewthread.php?tid=9121994
4楼2015-07-03 12:10:08
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