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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 求助! 请问光刻版在使用中怎么防静电?
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seekingalex

新虫 (初入文坛)

[求助] 求助! 请问光刻版在使用中怎么防静电? 已有1人参与

上张版子的结构在使用一段时间后出现了缺损,厂方说是因为静电的原因. 想请教一下, 在使用过程中怎么防止静电？或者使用一段时间后怎么给版子去静电？谢谢！
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1楼 2015-03-31 11:37:15
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seekingalex

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by yswyx at 2015-03-31 16:23:43
工厂里在mask使用一段时间后，都会用含有CO2或者臭氧的去离子水对mask进行清洗。你在实验室可以用强氧化的酸液清洗。如果对沾污没要求，可以用碱液。

多谢！麻烦您再看一下我这个帖子，里面有几张版子问题处的照片
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3楼2015-07-03 12:08:51
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yswyx

专家顾问 (著名写手)

【答案】应助回帖

★ ★
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seekingalex: 金币+2, ★★★很有帮助 2015-07-03 12:09:48
工厂里在mask使用一段时间后，都会用含有CO2或者臭氧的去离子水对mask进行清洗。你在实验室可以用强氧化的酸液清洗。如果对沾污没要求，可以用碱液。
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2楼2015-03-31 16:23:43
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seekingalex

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by yswyx at 2015-03-31 16:23:43
工厂里在mask使用一段时间后，都会用含有CO2或者臭氧的去离子水对mask进行清洗。你在实验室可以用强氧化的酸液清洗。如果对沾污没要求，可以用碱液。

http://muchong.com/bbs/viewthread.php?tid=9121994
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4楼2015-07-03 12:10:08
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