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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 学术讨论 » XPS中得到的原子比的意义？
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nenegees

金虫 (小有名气)

[求助] XPS中得到的原子比的意义？ 已有4人参与

请问各位大侠，XPS测得的原子比可以反映表面元素的含量大小关系吗？谢谢各位！
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1楼 2015-01-26 20:52:36
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nenegees

金虫 (小有名气)
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2楼2015-01-26 20:55:50
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changle9139

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【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ...
感谢参与，应助指数 +1
nenegees: 金币+5 2015-01-26 21:21:39
nenegees: 金币+60 2015-01-26 21:45:28
对啊  就是反应表面原子之间的配比关系的
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3楼2015-01-26 21:18:46
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nenegees

金虫 (小有名气)
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3楼: Originally posted by changle9139 at 2015-01-26 21:18:46
对啊  就是反应表面原子之间的配比关系的

这个准不准呢？可以作为表面元素含量大小的证据吗？
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4楼2015-01-26 21:24:19
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changle9139

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4楼: Originally posted by nenegees at 2015-01-26 21:24:19
这个准不准呢？可以作为表面元素含量大小的证据吗？...

xps属于半定量方法

可以作为参考，佐证其它能谱数据
当然 如果只是表面的 貌似目前也没有什么好方法定量
你用它的结果也可以，不过最好能是面扫或线扫 这样准确度和可信度能高一点
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5楼2015-01-26 21:26:54
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nenegees

金虫 (小有名气)
引用回帖:
5楼: Originally posted by changle9139 at 2015-01-26 21:26:54
xps属于半定量方法

可以作为参考，佐证其它能谱数据
当然 如果只是表面的 貌似目前也没有什么好方法定量
你用它的结果也可以，不过最好能是面扫或线扫 这样准确度和可信度能高一点...

只想得到表面的，所以能谱和ICP的不考虑了。谢谢您，看的文献还比较少，只是大概知道有人这么搞，不过好像都配合刻蚀来辅证。
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6楼2015-01-26 21:37:43
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changle9139

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6楼: Originally posted by nenegees at 2015-01-26 21:37:43
只想得到表面的，所以能谱和ICP的不考虑了。谢谢您，看的文献还比较少，只是大概知道有人这么搞，不过好像都配合刻蚀来辅证。...

那是用来评估均匀性的  或对比表面与内部的     常用Ar离子刻蚀
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7楼2015-01-26 21:39:58
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nenegees

金虫 (小有名气)
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7楼: Originally posted by changle9139 at 2015-01-26 21:39:58
那是用来评估均匀性的  或对比表面与内部的     常用Ar离子刻蚀...

对，就是想测刻蚀前后的某元素的比例，可以得到元素在nm级的分布？
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8楼2015-01-26 21:45:18
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changle9139

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【答案】应助回帖

引用回帖:
8楼: Originally posted by nenegees at 2015-01-26 21:45:18
对，就是想测刻蚀前后的某元素的比例，可以得到元素在nm级的分布？...

纳米级好像不行吧，这个没做过，不确定，你问问测试人员，刻视速度和束斑大小

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9楼2015-01-26 21:54:23
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nenegees

金虫 (小有名气)
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9楼: Originally posted by changle9139 at 2015-01-26 21:54:23
纳米级好像不行吧，这个没做过，不确定，你问问测试人员，刻视速度和束斑大小
...

恩，好的，很感谢
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10楼2015-01-26 22:04:32
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