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nenegees

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[求助] XPS中得到的原子比的意义？已有4人参与

请问各位大侠，XPS测得的原子比可以反映表面元素的含量大小关系吗？谢谢各位！

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1楼 2015-01-26 20:52:36

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nenegees

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引用回帖:

7楼: Originally posted by changle9139 at 2015-01-26 21:39:58
那是用来评估均匀性的或对比表面与内部的常用Ar离子刻蚀...

对，就是想测刻蚀前后的某元素的比例，可以得到元素在nm级的分布？

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8楼2015-01-26 21:45:18

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nenegees

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2楼2015-01-26 20:55:50

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changle9139

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nenegees: 金币+60 2015-01-26 21:45:28

对啊就是反应表面原子之间的配比关系的

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