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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 学术讨论 » XPS中得到的原子比的意义？
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aaron5235

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
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nenegees: 金币+5 2015-01-27 10:33:35
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4楼: Originally posted by nenegees at 2015-01-26 21:24:19
这个准不准呢？可以作为表面元素含量大小的证据吗？...

相对是很准的，比EDS准很多
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人生在世，俯仰之间，唯有追求卓越，但求尽其所能
11楼2015-01-26 22:42:50
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CNT.64bit

银虫 (小有名气)
引用回帖:
8楼: Originally posted by nenegees at 2015-01-26 21:45:18
对，就是想测刻蚀前后的某元素的比例，可以得到元素在nm级的分布？...

nm级分布可以试试EELS或者EDX

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
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12楼2015-01-27 02:50:58
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CNT.64bit

银虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
nenegees: 金币+5 2015-01-27 10:35:00
引用回帖:
12楼: Originally posted by CNT.64bit at 2015-01-27 02:50:58
nm级分布可以试试EELS或者EDX
...

另外，XPS测表面还可以尝试改变入射角来对比得到元素在深度上的分布

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
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13楼2015-01-27 02:52:38
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yuan999

专家顾问 (知名作家)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
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nenegees: 金币+5 2015-01-27 10:35:03
应该可以大致的反映表面元素含量，不过个人认为，误差有点大
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我~心~依~旧
14楼2015-01-27 09:48:53
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nenegees

金虫 (小有名气)
引用回帖:
14楼: Originally posted by yuan999 at 2015-01-27 09:48:53
应该可以大致的反映表面元素含量，不过个人认为，误差有点大

您认为表面的一个相对含量如何确定比较准确呢？同一个样品不同处理，我的XPS测定的含量变化很大，是我想要的结果，就想问这个能不能当一个证据？
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15楼2015-01-27 10:38:10
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