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金虫 (初入文坛)

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[求助] 求助：如何制备超薄硅片？已有1人参与

我想制备10-20微米的薄硅片，但是买的原始4英寸的硅片本身就存在10微米的误差，这让我如何是好？腐蚀到很薄的话这么大的误差接收不了啊！想请教各位大神，怎么办呢？有没有误差小一点的硅片？或者还有什么其它方法使得我腐蚀出来的薄硅片很均匀？

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1楼 2015-01-12 10:05:17

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cxm377

银虫 (正式写手)

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【答案】应助回帖

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感谢参与，应助指数 +1
1157322510: 金币+20, ★★★很有帮助 2015-05-18 17:15:49

先采取研磨或CMP的形式再结合干刻蚀能做到~10um
这么薄肯定要bonded在载片上进行

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