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1157322510

金虫 (初入文坛)

[求助] 求助:如何制备超薄硅片? 已有1人参与

我想制备10-20微米的薄硅片,但是买的原始4英寸的硅片本身就存在10微米的误差,这让我如何是好?腐蚀到很薄的话这么大的误差接收不了啊!想请教各位大神,怎么办呢?有没有误差小一点的硅片?或者还有什么其它方法使得我腐蚀出来的薄硅片很均匀?
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银虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与,应助指数 +1
1157322510: 金币+20, ★★★很有帮助 2015-05-18 17:15:49
先采取研磨或CMP的形式 再结合干刻蚀 能做到~10um
这么薄 肯定要bonded在载片上进行
洗洗睡吧
2楼2015-01-13 12:55:24
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