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化学放大负性光刻胶去胶难 已有3人参与
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最近尝试做一款化学放大负性光刻胶，形貌做的很好，但是发现很难去胶，去胶液是市面上通用的prs3000,总是留下胶丝不溶解，酚醛树脂体系交联剂用的是HMMM，降低交联剂的含量到很低还是溶解不掉，有没有大神能指点一下，在线等 |
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