应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » PR1-12000A光刻胶在Cu上显影不干净
161/2返回列表12下一页
查看: 1883  |  回复: 15
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看

涓水狂浪

新虫 (初入文坛)

[求助] PR1-12000A光刻胶在Cu上显影不干净 已有2人参与

硅片上依次溅射Ti/Cu后，使用PR1-12000A光刻胶匀胶（参数：1000rpm-10s/2500rpm-40s），烘烤参数（120℃-180s），MA6光刻机接触式曝光280s/310s/340s/370s，显影240s-330s不等，均显影不干净。不过用同样的匀胶和烘烤参数直接在Si片上做，曝光220s/240s/260s/280s都可以显影干净，只是显影时间又差别。特别困惑，求高手不吝指教~~
回复此楼

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
1楼 2014-12-30 22:40:02
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

涓水狂浪

新虫 (初入文坛)
求高手指点啊。。。
回复此楼
2楼2015-01-04 14:07:58
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

zhouyang4059

铁虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

★ ★ ★
涓水狂浪: 金币+3 2015-01-06 09:51:36
据我分析应该是曝光量不足的原因：虽然一般认为显影时间和曝光时间可以互补，但是也要在一定的范围之内。两种材料在也有不同：Cr对可见光范围的反射比较厉害，而cu在可见光600-800nm波段内反射较厉害，400-600nm吸收比较严重。
赞一下 回复此楼
3楼2015-01-04 17:57:56
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

涓水狂浪

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
3楼: Originally posted by zhouyang4059 at 2015-01-04 17:57:56
据我分析应该是曝光量不足的原因：虽然一般认为显影时间和曝光时间可以互补，但是也要在一定的范围之内。两种材料在也有不同：Cr对可见光范围的反射比较厉害，而cu在可见光600-800nm波段内反射较厉害，400-600nm吸收 ...

今天又做了一下实验，曝光剂量增加到500s仍然显影不干净，其实这个胶我们之前用同样的工艺做，曝光时间180s就可以显影干净，用光强计测量光刻机光强也未见显著衰减。
赞一下 回复此楼
4楼2015-01-04 18:57:44
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

涓水狂浪

新虫 (初入文坛)
小木虫上没有人遇到过这样的问题吗？继续求指教 ORZ...
赞一下 回复此楼
5楼2015-01-05 08:51:46
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

exciting73

金虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

商家已经主动声明此回帖可能含有宣传内容
★ ★ ★ ★ ★ ★
涓水狂浪: 金币+3 2015-01-06 09:52:09
涓水狂浪: 金币+3 2015-01-06 09:52:43
什么时间买的？我们这边就代理这种胶。
显影不干净指的是有一层残胶还是点状分布的残胶？有图吗？
赞一下 回复此楼
6楼2015-01-05 08:57:22
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

涓水狂浪

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
6楼: Originally posted by exciting73 at 2015-01-05 08:57:22
什么时间买的？我们这边就代理这种胶。
显影不干净指的是有一层残胶还是点状分布的残胶？有图吗？

有一层残胶，有图，在我显微镜的主机上，稍晚些上图
赞一下 回复此楼
7楼2015-01-05 10:13:48
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

涓水狂浪

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
6楼: Originally posted by exciting73 at 2015-01-05 08:57:22
什么时间买的？我们这边就代理这种胶。
显影不干净指的是有一层残胶还是点状分布的残胶？有图吗？

胶是新买的，生产时间是14年3月份，应该不是胶的问题吧，在Si上可以显影干净，但在Cu上显影不干净
赞一下 回复此楼
8楼2015-01-05 10:17:47
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

涓水狂浪

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
6楼: Originally posted by exciting73 at 2015-01-05 08:57:22
什么时间买的？我们这边就代理这种胶。
显影不干净指的是有一层残胶还是点状分布的残胶？有图吗？

这是在显微镜下拍到的图，很明显的残胶，而且不是增加显影时间就能明显去除的
PR1-12000A光刻胶在Cu上显影不干净
Cu-exp370s-4.jpg
赞一下 回复此楼
9楼2015-01-05 13:56:29
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

exciting73

金虫 (著名写手)
引用回帖:
9楼: Originally posted by 涓水狂浪 at 2015-01-05 13:56:29
这是在显微镜下拍到的图，很明显的残胶，而且不是增加显影时间就能明显去除的

Cu-exp370s-4.jpg
...

这种的正胶的保质期是1年吧？请问你是保存在什么条件下？
条件不理想的情况下，接近保质期时感光剂会逐渐析出，影响到感光效果。
赞一下 回复此楼
10楼2015-01-05 19:43:30
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 涓水狂浪 的主题更新
161/2返回列表12下一页
普通表情 龙 兔 虎 猫
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[基金申请] 今天务委会开完了，明天出结果吗 +13 angus9576 2026-08-25 13/650 2026-08-25 18:24 by miguan3344
[基金申请] 放榜前的不淡定 20+4 snowwithsea 2026-08-19 19/950 2026-08-25 17:57 by chick875
[基金申请] 有没有大神帮我看看基金代码 28+3 1234567wang 2026-08-24 9/450 2026-08-25 16:51 by 北京莱茵编辑
[基金申请] 在坚冰还盖着北海的时候，我看到了怒放的梅花。 +6 ziyangfang 2026-08-25 8/400 2026-08-25 16:28 by 宝贝的猪
[基金申请] 没有任何消息-是不是就凉了 +9 图啦图啦 2026-08-24 10/500 2026-08-25 11:59 by 南海小哥
[教师之家] 导师吐槽：我怎么摊上了这么个极品研究生！ +3 苏东坡二世 2026-08-23 3/150 2026-08-25 10:35 by shisan1313
[基金申请] 2026年的国家社科基金项目通讯评审的新规则与新动向、新挑战 +5 process2012 2026-08-23 7/350 2026-08-25 09:42 by huixian257
[基金申请] 今天基金会出结果吗？20260819 +17 kkkl_v 2026-08-19 18/900 2026-08-25 09:41 by windflowerwy
[基金申请] 我面上完蛋了 +13 且听虎啸 2026-08-20 14/700 2026-08-25 09:10 by mrkang
[基金申请] 范进中举一文的中心思想 +7 炎黄贵胄 2026-08-22 8/400 2026-08-25 08:48 by ZJTJZ
[基金申请] 只有每年这种时候来逛逛小木虫 +25 yaoyewhu2008 2026-08-20 27/1350 2026-08-25 08:01 by Equinoxhua
[基金申请] 明天应该可查了！？ +5 chengyan1220 2026-08-23 5/250 2026-08-24 23:28 by 我4大白菜
[基金申请] 能否退出参与的面上项目解除限项 +21 koalala 2026-08-24 24/1200 2026-08-24 19:25 by 家与远方
[基金申请] 科研孤儿太难了 +18 我4大白菜 2026-08-20 19/950 2026-08-24 09:47 by 凯恩广盛催化分�
[基金申请] 今天放榜吗？ +15 布布和一二 2026-08-19 16/800 2026-08-23 09:55 by 张春生
[基金申请] 看来今天不会放榜了？ +8 chengyan1220 2026-08-21 11/550 2026-08-21 17:52 by dcqxinyang
[基金申请] 时间戳又变了 +13 wuchongjun 2026-08-20 19/950 2026-08-21 17:21 by 紫杉醇
[基金申请] 应该是下周三26日公布了吧？ +4 哈哈蛤？ 2026-08-21 4/200 2026-08-21 10:58 by Vivilian
[基金申请] 今天放榜没戏了吧 +9 yuleib84 2026-08-19 11/550 2026-08-21 10:06 by gltch
[基金申请] 基金啊基金 +4 longfie172 2026-08-20 4/200 2026-08-21 08:58 by mark mao
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭