应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » PR1-12000A光刻胶在Cu上显影不干净
161/2返回列表12下一页
查看: 1949  |  回复: 15
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看

涓水狂浪

新虫 (初入文坛)

[求助] PR1-12000A光刻胶在Cu上显影不干净 已有2人参与

硅片上依次溅射Ti/Cu后，使用PR1-12000A光刻胶匀胶（参数：1000rpm-10s/2500rpm-40s），烘烤参数（120℃-180s），MA6光刻机接触式曝光280s/310s/340s/370s，显影240s-330s不等，均显影不干净。不过用同样的匀胶和烘烤参数直接在Si片上做，曝光220s/240s/260s/280s都可以显影干净，只是显影时间又差别。特别困惑，求高手不吝指教~~
回复此楼

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
1楼 2014-12-30 22:40:02
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

涓水狂浪

新虫 (初入文坛)
求高手指点啊。。。
回复此楼
2楼2015-01-04 14:07:58
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

zhouyang4059

铁虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

★ ★ ★
涓水狂浪: 金币+3 2015-01-06 09:51:36
据我分析应该是曝光量不足的原因：虽然一般认为显影时间和曝光时间可以互补，但是也要在一定的范围之内。两种材料在也有不同：Cr对可见光范围的反射比较厉害，而cu在可见光600-800nm波段内反射较厉害，400-600nm吸收比较严重。
赞一下 回复此楼
3楼2015-01-04 17:57:56
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

涓水狂浪

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
3楼: Originally posted by zhouyang4059 at 2015-01-04 17:57:56
据我分析应该是曝光量不足的原因：虽然一般认为显影时间和曝光时间可以互补，但是也要在一定的范围之内。两种材料在也有不同：Cr对可见光范围的反射比较厉害，而cu在可见光600-800nm波段内反射较厉害，400-600nm吸收 ...

今天又做了一下实验，曝光剂量增加到500s仍然显影不干净，其实这个胶我们之前用同样的工艺做，曝光时间180s就可以显影干净，用光强计测量光刻机光强也未见显著衰减。
赞一下 回复此楼
4楼2015-01-04 18:57:44
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

涓水狂浪

新虫 (初入文坛)
小木虫上没有人遇到过这样的问题吗？继续求指教 ORZ...
赞一下 回复此楼
5楼2015-01-05 08:51:46
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

exciting73

金虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

商家已经主动声明此回帖可能含有宣传内容
★ ★ ★ ★ ★ ★
涓水狂浪: 金币+3 2015-01-06 09:52:09
涓水狂浪: 金币+3 2015-01-06 09:52:43
什么时间买的？我们这边就代理这种胶。
显影不干净指的是有一层残胶还是点状分布的残胶？有图吗？
赞一下 回复此楼
6楼2015-01-05 08:57:22
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

涓水狂浪

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
6楼: Originally posted by exciting73 at 2015-01-05 08:57:22
什么时间买的？我们这边就代理这种胶。
显影不干净指的是有一层残胶还是点状分布的残胶？有图吗？

有一层残胶，有图，在我显微镜的主机上，稍晚些上图
赞一下 回复此楼
7楼2015-01-05 10:13:48
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

涓水狂浪

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
6楼: Originally posted by exciting73 at 2015-01-05 08:57:22
什么时间买的？我们这边就代理这种胶。
显影不干净指的是有一层残胶还是点状分布的残胶？有图吗？

胶是新买的，生产时间是14年3月份，应该不是胶的问题吧，在Si上可以显影干净，但在Cu上显影不干净
赞一下 回复此楼
8楼2015-01-05 10:17:47
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

涓水狂浪

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
6楼: Originally posted by exciting73 at 2015-01-05 08:57:22
什么时间买的？我们这边就代理这种胶。
显影不干净指的是有一层残胶还是点状分布的残胶？有图吗？

这是在显微镜下拍到的图，很明显的残胶，而且不是增加显影时间就能明显去除的
PR1-12000A光刻胶在Cu上显影不干净
Cu-exp370s-4.jpg
赞一下 回复此楼
9楼2015-01-05 13:56:29
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

exciting73

金虫 (著名写手)
引用回帖:
9楼: Originally posted by 涓水狂浪 at 2015-01-05 13:56:29
这是在显微镜下拍到的图，很明显的残胶，而且不是增加显影时间就能明显去除的

Cu-exp370s-4.jpg
...

这种的正胶的保质期是1年吧？请问你是保存在什么条件下？
条件不理想的情况下，接近保质期时感光剂会逐渐析出，影响到感光效果。
赞一下 回复此楼
10楼2015-01-05 19:43:30
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 涓水狂浪 的主题更新
161/2返回列表12下一页
普通表情 龙 兔 虎 猫
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[教师之家] 售SCI文章，我:8O.5.5.1O.54,科目全,可十急 +3 6F5UbRU2I5hL 2026-09-14 3/150 2026-09-15 08:14 by C79jjtjAKjEn
[考研] 售SCI文章，我:8O5.5.1.O.54,科目齐全,可+急 +3 6F5UbRU2I5hL 2026-09-14 3/150 2026-09-15 08:14 by C79jjtjAKjEn
[找工作] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O.5.4,科目全,可+急 +4 6F5UbRU2I5hL 2026-09-14 4/200 2026-09-15 08:02 by C79jjtjAKjEn
[考博] 售SCI-T0P文章，我:8O.5.5.1.O.54,科目齐全,可+急 +3 6F5UbRU2I5hL 2026-09-14 3/150 2026-09-15 07:58 by C79jjtjAKjEn
[考博] 售SCI一区文章，我:8O5.5.1.O5.4,科目全,可伽急 +6 s3fFTmArrBt6 2026-09-14 6/300 2026-09-15 07:14 by C79jjtjAKjEn
[教师之家] 售SCI一区文章，我:8.O.551.O.5.4,科目全,可伽急 +4 s3fFTmArrBt6 2026-09-13 4/200 2026-09-15 07:02 by 5BDX0d0WFp7t
[考研] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O.5.4,科目全,可+急 +4 LwdutQ8HoqWP 2026-09-13 4/200 2026-09-15 06:14 by 5BDX0d0WFp7t
[找工作] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O54,科目全,可伽急 +3 3n8v2C8RimXI 2026-09-13 4/200 2026-09-15 06:01 by 5BDX0d0WFp7t
[公派出国] 售SCI一区T0P文章，我:8O.55.1.O.5.4,科目齐全,可+急 +3 3n8v2C8RimXI 2026-09-13 4/200 2026-09-15 05:50 by 5BDX0d0WFp7t
[教师之家] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O.54,科目齐全,可+急 +6 3n8v2C8RimXI 2026-09-13 6/300 2026-09-15 05:38 by 5BDX0d0WFp7t
[考博] 售SCI文章，我:8O.5.5.1O.54,科目全,可十急 +5 3n8v2C8RimXI 2026-09-13 5/250 2026-09-15 05:34 by 5BDX0d0WFp7t
[硕博家园] 售SCI-T0P文章，我:8O.5.5.1.O.54,科目齐全,可+急 +3 3n8v2C8RimXI 2026-09-13 3/150 2026-09-15 05:26 by 5BDX0d0WFp7t
[找工作] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O.5.4,科目全,可+急 +6 QUjhNVAcOSff 2026-09-13 7/350 2026-09-15 05:22 by 5BDX0d0WFp7t
[公派出国] 售SCI一区T0P文章，我:8.O55.1.O.54,科目全,可十急 +6 QUjhNVAcOSff 2026-09-13 8/400 2026-09-15 05:01 by mibUvS8DDCwf
[硕博家园] 售SCI一区T0P文章，我:8O.55.1.O.54,科目全,可伽急 +3 23jxep3nCNZb 2026-09-14 3/150 2026-09-15 01:21 by mibUvS8DDCwf
[硕博家园] 售SCI一区文章，我:8.O.551.O.5.4,科目全,可伽急 +3 s3fFTmArrBt6 2026-09-13 5/250 2026-09-14 23:13 by vZfe6xYu34yj
[找工作] 售SCI一区文章，我:8O5.5.1.O5.4,科目全,可伽急 +5 3n8v2C8RimXI 2026-09-13 5/250 2026-09-14 22:13 by vZfe6xYu34yj
[博后之家] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O.5.4,科目全,可+急 +4 QUjhNVAcOSff 2026-09-13 4/200 2026-09-14 21:37 by vZfe6xYu34yj
[考博] 上海工程技术大学激光智能制造课题组招收博士研究生 +4 两三岁ss 2026-09-14 4/200 2026-09-14 20:29 by 班主任的同桌
[考博] 西北工业大学材料学院电化学传感与催化课题组招收2027年推免研究生、博士生、博士后 +3 马方园 2026-09-10 4/200 2026-09-14 09:29 by Chem张zz
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭