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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » PR1-12000A光刻胶在Cu上显影不干净
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涓水狂浪

新虫 (初入文坛)
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10楼: Originally posted by exciting73 at 2015-01-05 19:43:30
这种的正胶的保质期是1年吧？请问你是保存在什么条件下？
条件不理想的情况下，接近保质期时感光剂会逐渐析出，影响到感光效果。...

保存是在0-5摄氏度，避光保存的。但是在Si上匀胶曝光，显影时没有问题的，应该不是保质期的问题吧
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11楼2015-01-06 08:48:28
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exciting73

金虫 (著名写手)
引用回帖:
11楼: Originally posted by 涓水狂浪 at 2015-01-06 08:48:28
保存是在0-5摄氏度，避光保存的。但是在Si上匀胶曝光，显影时没有问题的，应该不是保质期的问题吧...

好像这个温度对于PR1-12000A有点低了，一般常温或10-15度就可以了吧。你还是把曝光剂量增加一些看看好了。
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12楼2015-01-06 08:53:57
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涓水狂浪

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
12楼: Originally posted by exciting73 at 2015-01-06 08:53:57
好像这个温度对于PR1-12000A有点低了，一般常温或10-15度就可以了吧。你还是把曝光剂量增加一些看看好了。...

好的，我试试，谢啦~~
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13楼2015-01-06 09:42:42
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exciting73

金虫 (著名写手)
引用回帖:
13楼: Originally posted by 涓水狂浪 at 2015-01-06 09:42:42
好的，我试试，谢啦~~...

别客气。结果怎样
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14楼2015-01-10 21:22:11
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涓水狂浪

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
14楼: Originally posted by exciting73 at 2015-01-10 21:22:11
别客气。结果怎样...

这几天忙别的事情，还没来得及试验。。。等回头试了再跟你反馈哈
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15楼2015-01-11 10:23:16
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exciting73

金虫 (著名写手)
引用回帖:
15楼: Originally posted by 涓水狂浪 at 2015-01-11 10:23:16
这几天忙别的事情，还没来得及试验。。。等回头试了再跟你反馈哈...

好，谢谢
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16楼2015-01-11 20:12:24
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