应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » PR1-12000A光刻胶在Cu上显影不干净
51/1返回列表
查看: 1956  |  回复: 15
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看
当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖

涓水狂浪

新虫 (初入文坛)

[求助] PR1-12000A光刻胶在Cu上显影不干净 已有2人参与

硅片上依次溅射Ti/Cu后，使用PR1-12000A光刻胶匀胶（参数：1000rpm-10s/2500rpm-40s），烘烤参数（120℃-180s），MA6光刻机接触式曝光280s/310s/340s/370s，显影240s-330s不等，均显影不干净。不过用同样的匀胶和烘烤参数直接在Si片上做，曝光220s/240s/260s/280s都可以显影干净，只是显影时间又差别。特别困惑，求高手不吝指教~~
回复此楼

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
1楼 2014-12-30 22:40:02
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

涓水狂浪

新虫 (初入文坛)
小木虫上没有人遇到过这样的问题吗？继续求指教 ORZ...
赞一下 回复此楼
5楼2015-01-05 08:51:46
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 16 个回答

涓水狂浪

新虫 (初入文坛)
求高手指点啊。。。
回复此楼
2楼2015-01-04 14:07:58
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

zhouyang4059

铁虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

★ ★ ★
涓水狂浪: 金币+3 2015-01-06 09:51:36
据我分析应该是曝光量不足的原因：虽然一般认为显影时间和曝光时间可以互补，但是也要在一定的范围之内。两种材料在也有不同：Cr对可见光范围的反射比较厉害，而cu在可见光600-800nm波段内反射较厉害，400-600nm吸收比较严重。
赞一下 回复此楼
3楼2015-01-04 17:57:56
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

涓水狂浪

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
3楼: Originally posted by zhouyang4059 at 2015-01-04 17:57:56
据我分析应该是曝光量不足的原因：虽然一般认为显影时间和曝光时间可以互补，但是也要在一定的范围之内。两种材料在也有不同：Cr对可见光范围的反射比较厉害，而cu在可见光600-800nm波段内反射较厉害，400-600nm吸收 ...

今天又做了一下实验，曝光剂量增加到500s仍然显影不干净，其实这个胶我们之前用同样的工艺做，曝光时间180s就可以显影干净，用光强计测量光刻机光强也未见显著衰减。
赞一下 回复此楼
4楼2015-01-04 18:57:44
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 16 个回答
普通表情 龙 兔 虎 猫
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[博后之家] 售SCI一区T0P文章，我:8.O55.1.O.54,科目全,可十急 +5 s3fFTmArrBt6 2026-09-14 5/250 2026-09-17 02:50 by Tql5LQhh5rLK
[博后之家] 售SCI文章，我:8O5.5.1.O.54,科目齐全,可+急 +3 s3fFTmArrBt6 2026-09-13 6/300 2026-09-17 02:26 by Tql5LQhh5rLK
[找工作] 售SCI一区T0P文章，我:8O.55.1.O.5.4,科目齐全,可+急 +4 s3fFTmArrBt6 2026-09-13 4/200 2026-09-17 02:26 by Tql5LQhh5rLK
[找工作] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O54,科目全,可伽急 +6 s3fFTmArrBt6 2026-09-13 6/300 2026-09-17 02:14 by Tql5LQhh5rLK
[考博] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O.5.4,科目全,可+急 +3 vZfe6xYu34yj 2026-09-14 3/150 2026-09-16 22:52 by Tql5LQhh5rLK
[考研] 售SCI一区文章，我:8.O.55.1.O.54,科目齐全,可伽急 +3 vZfe6xYu34yj 2026-09-14 3/150 2026-09-16 22:26 by Tql5LQhh5rLK
[考研] 售SCI一区文章，我:8O5.5.1.O5.4,科目全,可伽急 +3 23jxep3nCNZb 2026-09-14 3/150 2026-09-16 20:50 by MHf40yA0Uhyb
[博后之家] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O.5.4,科目全,可+急 +4 6F5UbRU2I5hL 2026-09-14 4/200 2026-09-16 17:03 by i3KBRD19ERkG
[找工作] 售SCI一区T0P文章，我:8.O55.1.O.54,科目全,可十急 +3 s3fFTmArrBt6 2026-09-14 4/200 2026-09-16 16:51 by i3KBRD19ERkG
[博后之家] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O54,科目全,可伽急 +3 vZfe6xYu34yj 2026-09-14 3/150 2026-09-16 08:51 by SjQobnC04j06
[找工作] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O.54,科目齐全,可+急 +3 Aj1rhIDL5ixY 2026-09-14 3/150 2026-09-16 07:12 by LH5NkK5Ud4bh
[硕博家园] 售一区SCI文章T0P，我:8O.551.O54,科目全,可十急 +3 0pYnUiPDfdnk 2026-09-14 3/150 2026-09-16 06:51 by LH5NkK5Ud4bh
[硕博家园] 售SCI一区文章，我:8.O.55.1.O.54,科目齐全,可伽急 +4 40ms4Wlo4umh 2026-09-14 4/200 2026-09-16 06:27 by LH5NkK5Ud4bh
[硕博家园] 售SCI一区文章，我:8.O.551.O.5.4,科目全,可伽急 +3 6F5UbRU2I5hL 2026-09-14 3/150 2026-09-16 05:27 by LH5NkK5Ud4bh
[考博] 申博发邮件 +4 Lmengk 2026-09-15 4/200 2026-09-16 00:05 by 木心想继续深造
[公派出国] 售SCI一区T0P文章，我:8.O55.1.O.54,科目全,可十急 +3 Aj1rhIDL5ixY 2026-09-14 3/150 2026-09-15 19:59 by CgyNCDVNhGVg
[找工作] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O54,科目全,可伽急 +4 s3fFTmArrBt6 2026-09-14 5/250 2026-09-15 16:39 by CgyNCDVNhGVg
[教师之家] 售SCI文章，我:8O.5.5.1O.54,科目全,可十急 +3 6F5UbRU2I5hL 2026-09-14 3/150 2026-09-15 08:14 by C79jjtjAKjEn
[教师之家] 售SCI一区文章，我:8.O.551.O.5.4,科目全,可伽急 +4 s3fFTmArrBt6 2026-09-13 4/200 2026-09-15 07:02 by 5BDX0d0WFp7t
[教师之家] 售SCI一区文章，我:8.O.55.1.O.54,科目齐全,可伽急 +4 s3fFTmArrBt6 2026-09-13 4/200 2026-09-15 06:50 by 5BDX0d0WFp7t
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭