应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » PR1-12000A光刻胶在Cu上显影不干净
北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
161/2返回列表12下一页
查看: 1516  |  回复: 15
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看

涓水狂浪

新虫 (初入文坛)

[求助] PR1-12000A光刻胶在Cu上显影不干净 已有2人参与

硅片上依次溅射Ti/Cu后，使用PR1-12000A光刻胶匀胶（参数：1000rpm-10s/2500rpm-40s），烘烤参数（120℃-180s），MA6光刻机接触式曝光280s/310s/340s/370s，显影240s-330s不等，均显影不干净。不过用同样的匀胶和烘烤参数直接在Si片上做，曝光220s/240s/260s/280s都可以显影干净，只是显影时间又差别。特别困惑，求高手不吝指教~~
回复此楼

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
1楼 2014-12-30 22:40:02
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

涓水狂浪

新虫 (初入文坛)
求高手指点啊。。。
回复此楼
2楼2015-01-04 14:07:58
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

zhouyang4059

铁虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

★ ★ ★
涓水狂浪: 金币+3 2015-01-06 09:51:36
据我分析应该是曝光量不足的原因：虽然一般认为显影时间和曝光时间可以互补，但是也要在一定的范围之内。两种材料在也有不同：Cr对可见光范围的反射比较厉害，而cu在可见光600-800nm波段内反射较厉害，400-600nm吸收比较严重。
赞一下 回复此楼
3楼2015-01-04 17:57:56
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

涓水狂浪

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
3楼: Originally posted by zhouyang4059 at 2015-01-04 17:57:56
据我分析应该是曝光量不足的原因：虽然一般认为显影时间和曝光时间可以互补，但是也要在一定的范围之内。两种材料在也有不同：Cr对可见光范围的反射比较厉害，而cu在可见光600-800nm波段内反射较厉害，400-600nm吸收 ...

今天又做了一下实验，曝光剂量增加到500s仍然显影不干净，其实这个胶我们之前用同样的工艺做，曝光时间180s就可以显影干净，用光强计测量光刻机光强也未见显著衰减。
赞一下 回复此楼
4楼2015-01-04 18:57:44
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

涓水狂浪

新虫 (初入文坛)
小木虫上没有人遇到过这样的问题吗？继续求指教 ORZ...
赞一下 回复此楼
5楼2015-01-05 08:51:46
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

exciting73

金虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

商家已经主动声明此回帖可能含有宣传内容
★ ★ ★ ★ ★ ★
涓水狂浪: 金币+3 2015-01-06 09:52:09
涓水狂浪: 金币+3 2015-01-06 09:52:43
什么时间买的？我们这边就代理这种胶。
显影不干净指的是有一层残胶还是点状分布的残胶？有图吗？
赞一下 回复此楼
6楼2015-01-05 08:57:22
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

涓水狂浪

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
6楼: Originally posted by exciting73 at 2015-01-05 08:57:22
什么时间买的？我们这边就代理这种胶。
显影不干净指的是有一层残胶还是点状分布的残胶？有图吗？

有一层残胶，有图，在我显微镜的主机上，稍晚些上图
赞一下 回复此楼
7楼2015-01-05 10:13:48
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

涓水狂浪

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
6楼: Originally posted by exciting73 at 2015-01-05 08:57:22
什么时间买的？我们这边就代理这种胶。
显影不干净指的是有一层残胶还是点状分布的残胶？有图吗？

胶是新买的，生产时间是14年3月份，应该不是胶的问题吧，在Si上可以显影干净，但在Cu上显影不干净
赞一下 回复此楼
8楼2015-01-05 10:17:47
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

涓水狂浪

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
6楼: Originally posted by exciting73 at 2015-01-05 08:57:22
什么时间买的？我们这边就代理这种胶。
显影不干净指的是有一层残胶还是点状分布的残胶？有图吗？

这是在显微镜下拍到的图，很明显的残胶，而且不是增加显影时间就能明显去除的
PR1-12000A光刻胶在Cu上显影不干净
Cu-exp370s-4.jpg
赞一下 回复此楼
9楼2015-01-05 13:56:29
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

exciting73

金虫 (著名写手)
引用回帖:
9楼: Originally posted by 涓水狂浪 at 2015-01-05 13:56:29
这是在显微镜下拍到的图，很明显的残胶，而且不是增加显影时间就能明显去除的

Cu-exp370s-4.jpg
...

这种的正胶的保质期是1年吧？请问你是保存在什么条件下？
条件不理想的情况下，接近保质期时感光剂会逐渐析出，影响到感光效果。
赞一下 回复此楼
10楼2015-01-05 19:43:30
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 涓水狂浪 的主题更新
161/2返回列表12下一页
普通表情 龙 兔 虎 猫
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 321求调剂 +6 Ymlll 2026-03-24 6/300 2026-03-26 20:50 by 不吃魚的貓
[考研] 一志愿厦门大学化学学硕307求调剂 +8 y7czhao 2026-03-26 8/400 2026-03-26 19:51 by 不吃魚的貓
[考研] 281求调剂 +3 亚克西good 2026-03-26 5/250 2026-03-26 19:48 by 不吃魚的貓
[考研] 机械学硕310分，数一英一，一志愿211本科双非找调剂信息 +3 @357 2026-03-25 3/150 2026-03-26 16:34 by by.MENG
[考研] 0856求调剂 +8 zhn03 2026-03-25 9/450 2026-03-26 13:42 by zzll406
[考研] 303求调剂 +6 蓝山月 2026-03-25 6/300 2026-03-25 22:47 by 418490947
[考研] 299求调剂 +7 shxchem 2026-03-20 9/450 2026-03-25 10:41 by lbsjt
[考研] 318求调剂 +3 plum李子 2026-03-23 3/150 2026-03-25 09:42 by 雾散后相遇lc
[考研] 材料292调剂 +8 橘颂思美人 2026-03-23 8/400 2026-03-24 16:33 by laoshidan
[考研] 求调剂一志愿武汉理工大学材料工程（085601） +5 WW.' 2026-03-23 7/350 2026-03-24 14:50 by sprinining
[考研] 085404电子信息284分求调剂 +4 13659058978 2026-03-24 4/200 2026-03-24 12:15 by syl20081243
[考研] 341求调剂(一志愿湖南大学070300) +5 番茄头--- 2026-03-22 6/300 2026-03-23 23:45 by Txy@872106
[考研] 336化工调剂 +4 王大坦1 2026-03-23 5/250 2026-03-23 18:32 by allen-yin
[论文投稿] 急发核心期刊论文 +3 贤达问津 2026-03-23 5/250 2026-03-23 17:13 by 妹子不好惹
[考研] 石河子大学（211、双一流）硕博研究生长期招生公告 +3 李子目 2026-03-22 3/150 2026-03-22 21:01 by 怎么释怀
[考研] 298求调剂一志愿211 +3 上岸6666@ 2026-03-20 3/150 2026-03-22 15:50 by ColorlessPI
[考研] 求助 +5 梦里的无言 2026-03-21 6/300 2026-03-21 17:51 by 学员8dgXkO
[考研] 求调剂 +3 .m.. 2026-03-21 4/200 2026-03-21 16:25 by barlinike
[考研] 0805材料320求调剂 +3 深海物语 2026-03-20 3/150 2026-03-21 15:46 by 无际的草原
[考研] 353求调剂 +3 拉钩不许变 2026-03-20 3/150 2026-03-20 19:56 by JourneyLucky
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭