| 查看: 2027 | 回复: 11 | ||||
FLYFWY木虫 (小有名气)
|
[求助]
请教Si片腐蚀 已有4人参与
|
|||
|
Si片上镀了层Cu，想把Si片腐蚀掉，得到Cu膜， 那么问题来了：有没有啥溶液能较快腐蚀掉Si片（厚0.6mm左右），而不腐蚀Cu呢？ 试了NaOH溶液，感觉反应有点慢。 小白一枚，请多指教~~O(∩_∩)O~ |
回复此楼» 猜你喜欢
无机化学论文润色/翻译怎么收费?
已经有256人回复
» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
- 请教一个电化学腐蚀的问题
已经有15人回复
- 急！ 急！ 急！求助一下什么溶剂可以把金腐蚀掉而不腐蚀Si或SiO2
已经有6人回复
- 向大家请教一个关于硅的湿法腐蚀的相关问题。。
已经有4人回复
- 请问用SiO2和Al反应制得的Al2O3//Al-Si复合材料选哪一种金相腐蚀液
已经有7人回复
- AL-Si-Cu合金的金相腐蚀剂选择
已经有10人回复
- 请教奥氏体304不锈钢金相腐蚀
已经有20人回复
- 有关氮氧化硅的（Si2N2O）腐蚀的问题
已经有8人回复
- 请教高锰钢腐蚀的问题
已经有8人回复
- 请教金属腐蚀试样制备的问题
已经有7人回复
- 请教316L金相怎么腐蚀，才能晶界轮廓清晰
已经有17人回复
- 【求助】请教铝合金腐蚀问题
已经有19人回复
- 【请教】在Si（100）基片上沉积的薄膜测量XRD图解。
已经有10人回复
- 【求助】请教钢铁金相腐蚀问题！
已经有22人回复
- 【请教】低碳高合金钢晶界腐蚀方法
已经有10人回复
- 【请教】AZ91铸态合金用什么腐蚀液能腐蚀出晶界？
已经有10人回复
- 【请教】扫面电镜样品需要腐蚀么？
已经有7人回复
reninhat
铁杆木虫 (正式写手)
- 应助: 80 (初中生)
- 金币: 6133.8
- 散金: 117
- 红花: 5
- 帖子: 332
- 在线: 428.4小时
- 虫号: 2238571
- 注册: 2013-01-13
- 专业: 半导体微纳机电器件与系统
6楼2014-10-21 10:38:24
peterflyer 
木虫之王 (文学泰斗)
peterflyer
- 应助: 20282 (院士)
- 金币: 146693
- 红花: 1374
- 帖子: 93091
- 在线: 7695小时
- 虫号: 1482829
- 注册: 2011-11-08
- 性别: GG
- 专业: 功能陶瓷
4楼2014-10-21 10:10:08
exciting73
金虫 (著名写手)
- 应助: 110 (高中生)
- 金币: 579.9
- 红花: 20
- 帖子: 1785
- 在线: 272.7小时
- 虫号: 1946276
- 注册: 2012-08-19
- 性别: GG
- 专业: 半导体材料
2楼2014-10-20 21:56:58
FLYFWY
木虫 (小有名气)
- 应助: 1 (幼儿园)
- 金币: 3611.8
- 红花: 1
- 帖子: 160
- 在线: 113小时
- 虫号: 747879
- 注册: 2009-04-13
- 专业: 光学信息获取与处理
3楼2014-10-20 22:26:49
FLYFWY
木虫 (小有名气)
- 应助: 1 (幼儿园)
- 金币: 3611.8
- 红花: 1
- 帖子: 160
- 在线: 113小时
- 虫号: 747879
- 注册: 2009-04-13
- 专业: 光学信息获取与处理
5楼2014-10-21 10:34:51
exciting73
金虫 (著名写手)
- 应助: 110 (高中生)
- 金币: 579.9
- 红花: 20
- 帖子: 1785
- 在线: 272.7小时
- 虫号: 1946276
- 注册: 2012-08-19
- 性别: GG
- 专业: 半导体材料
7楼2014-10-21 10:51:15
pizde
铁杆木虫 (正式写手)
- 应助: 8 (幼儿园)
- 金币: 5149.8
- 红花: 3
- 帖子: 401
- 在线: 117.6小时
- 虫号: 2343059
- 注册: 2013-03-13
- 性别: GG
- 专业: 材料物理化学
8楼2014-10-22 09:32:55
yswyx
专家顾问 (著名写手)
-
专家经验: +651 - MN-EPI: 8
- 应助: 807 (博后)
- 贵宾: 0.204
- 金币: 2618.9
- 散金: 6018
- 红花: 112
- 帖子: 2705
- 在线: 577.8小时
- 虫号: 446878
- 注册: 2007-10-30
- 性别: GG
- 专业: 半导体微纳机电器件与系统
- 管辖: 微米和纳米
【答案】应助回帖
★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
FLYFWY: 金币+10, ★★★★★最佳答案 2014-10-22 21:00:26
FLYFWY: 金币+5, ★★★★★最佳答案 2014-10-28 16:51:04
感谢参与，应助指数 +1
FLYFWY: 金币+10, ★★★★★最佳答案 2014-10-22 21:00:26
FLYFWY: 金币+5, ★★★★★最佳答案 2014-10-28 16:51:04
|
无论是酸还是碱，时间长了铜都受不了。 看你的路子，应该是按照当年我写的某个工艺方案搞的 Cu是需要被保护的，有两个方法。 1. 用专用的夹具来保护，比如silicet的湿法腐蚀夹具，把硅片的Cu面保护起来，然后再进行湿法腐蚀。中国的代理商是苏州锐材。 2. 用耐一定温度的胶把Cu的表面沾上一片玻璃，或者是硅片也可以。这样Cu就被保护起来了，腐蚀硅的时候就不怕铜被腐蚀了。 以上两点都不能在硅被腐蚀穿以后保护Cu不受影响。因此，楼上某位说的牺牲层就显得重要了。当然，也可以不用这个工艺，可以用更好的方法来完成。 |
9楼2014-10-22 19:29:22
FLYFWY
木虫 (小有名气)
- 应助: 1 (幼儿园)
- 金币: 3611.8
- 红花: 1
- 帖子: 160
- 在线: 113小时
- 虫号: 747879
- 注册: 2009-04-13
- 专业: 光学信息获取与处理
10楼2014-10-22 21:03:04
