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FLYFWY木虫 (小有名气)
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请教Si片腐蚀 已有4人参与
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Si片上镀了层Cu，想把Si片腐蚀掉，得到Cu膜， 那么问题来了：有没有啥溶液能较快腐蚀掉Si片（厚0.6mm左右），而不腐蚀Cu呢？ 试了NaOH溶液，感觉反应有点慢。 小白一枚，请多指教~~O(∩_∩)O~ |
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无论是酸还是碱，时间长了铜都受不了。 看你的路子，应该是按照当年我写的某个工艺方案搞的 Cu是需要被保护的，有两个方法。 1. 用专用的夹具来保护，比如silicet的湿法腐蚀夹具，把硅片的Cu面保护起来，然后再进行湿法腐蚀。中国的代理商是苏州锐材。 2. 用耐一定温度的胶把Cu的表面沾上一片玻璃，或者是硅片也可以。这样Cu就被保护起来了，腐蚀硅的时候就不怕铜被腐蚀了。 以上两点都不能在硅被腐蚀穿以后保护Cu不受影响。因此，楼上某位说的牺牲层就显得重要了。当然，也可以不用这个工艺，可以用更好的方法来完成。 |
9楼2014-10-22 19:29:22
FLYFWY
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