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FLYFWY

木虫 (小有名气)

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[求助] 请教Si片腐蚀已有4人参与

Si片上镀了层Cu，想把Si片腐蚀掉，得到Cu膜，
那么问题来了：有没有啥溶液能较快腐蚀掉Si片（厚0.6mm左右），而不腐蚀Cu呢？
试了NaOH溶液，感觉反应有点慢。
小白一枚，请多指教~~O(∩_∩)O~

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1楼 2014-10-20 21:39:09

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yswyx

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【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
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FLYFWY: 金币+10, ★★★★★最佳答案 2014-10-22 21:00:26
FLYFWY: 金币+5, ★★★★★最佳答案 2014-10-28 16:51:04

无论是酸还是碱，时间长了铜都受不了。
看你的路子，应该是按照当年我写的某个工艺方案搞的
Cu是需要被保护的，有两个方法。
1. 用专用的夹具来保护，比如silicet的湿法腐蚀夹具，把硅片的Cu面保护起来，然后再进行湿法腐蚀。中国的代理商是苏州锐材。
2. 用耐一定温度的胶把Cu的表面沾上一片玻璃，或者是硅片也可以。这样Cu就被保护起来了，腐蚀硅的时候就不怕铜被腐蚀了。
以上两点都不能在硅被腐蚀穿以后保护Cu不受影响。因此，楼上某位说的牺牲层就显得重要了。当然，也可以不用这个工艺，可以用更好的方法来完成。