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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 请教Si片腐蚀
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FLYFWY

木虫 (小有名气)

[求助] 请教Si片腐蚀 已有4人参与

Si片上镀了层Cu，想把Si片腐蚀掉，得到Cu膜，
那么问题来了：有没有啥溶液能较快腐蚀掉Si片（厚0.6mm左右），而不腐蚀Cu呢？
试了NaOH溶液，感觉反应有点慢。
小白一枚，请多指教~~O(∩_∩)O~
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1楼 2014-10-20 21:39:09
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reninhat

铁杆木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
这种情况其实应该用牺牲层工艺，现在硅上PECVD一层SiO2，再沉积Cu。
最后HF直接快速干掉SiO2，Cu膜就下来了。
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6楼2014-10-21 10:38:24
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exciting73

金虫 (著名写手)
可以考虑下商品化的蚀刻液
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2楼2014-10-20 21:56:58
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FLYFWY

木虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by exciting73 at 2014-10-20 21:56:58
可以考虑下商品化的蚀刻液

请教一下，这种刻蚀衬底得到薄膜的方法能保证膜的粗糙度吗，我需要1nm级别的粗糙度
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3楼2014-10-20 22:26:49
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peterflyer

木虫之王 (文学泰斗)

peterflyer

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
能溶解Si的一般只有两种物质：氢氟酸和烧碱。氢氟酸会在腐蚀硅的同时腐蚀铜的，不考虑；那就只有烧碱氢氧化钠了。楼主说腐蚀速度慢，那能否加热呢一些温度？能否超声辅助呢？
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4楼2014-10-21 10:10:08
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