请教Si片腐蚀 - 微米和纳米 - 微纳加工 - 第2页小木虫论坛-学术科研互动平台

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铁杆木虫 (正式写手)

引用回帖:

10楼: Originally posted by FLYFWY at 2014-10-22 21:03:04
用NaOH 85°C泡了两天，硅片只是表面有点腐蚀痕迹，Cu表面也有腐蚀痕迹，估计用KOH腐蚀Cu更严重...

两天？那可能使你用的NaOH浓度比较低吧，你看下这篇文献Large-Area Free-Standing Ultrathin Single-Crystal Silicon as Processable Materials，不知道你是不是可以先把硅片减薄，再镀一层Cu

11楼2014-10-23 08:25:35

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新虫 (正式写手)

机械抛光吧

[ 发自小木虫客户端 ]

12楼2014-10-23 08:47:47

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