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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 请教Si片腐蚀
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pizde

铁杆木虫 (正式写手)
引用回帖:
10楼: Originally posted by FLYFWY at 2014-10-22 21:03:04
用NaOH 85°C泡了两天，硅片只是表面有点腐蚀痕迹，Cu表面也有腐蚀痕迹，估计用KOH腐蚀Cu更严重...

两天？那可能使你用的NaOH浓度比较低吧，你看下这篇文献Large-Area Free-Standing Ultrathin Single-Crystal Silicon as Processable Materials，不知道你是不是可以先把硅片减薄，再镀一层Cu
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11楼2014-10-23 08:25:35
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E-MC

新虫 (正式写手)
机械抛光吧

[ 发自小木虫客户端 ]
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12楼2014-10-23 08:47:47
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