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北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
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FLYFWY

木虫 (小有名气)

[求助] 请教Si片腐蚀 已有4人参与

Si片上镀了层Cu,想把Si片腐蚀掉,得到Cu膜,
那么问题来了:有没有啥溶液能较快腐蚀掉Si片(厚0.6mm左右),而不腐蚀Cu呢?
试了NaOH溶液,感觉反应有点慢。
小白一枚,请多指教~~O(∩_∩)O~
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pizde

铁杆木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
使用50%的KOH溶液,在水浴90℃的条件下,大概两个半小时,600um的硅片就反应没了,反应很剧烈,会有大量的气泡产生,且硅片上下翻滚,不知道会不会对Cu膜有应该,
8楼2014-10-22 09:32:55
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exciting73

金虫 (著名写手)


可以考虑下商品化的蚀刻液
2楼2014-10-20 21:56:58
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FLYFWY

木虫 (小有名气)

引用回帖:
2楼: Originally posted by exciting73 at 2014-10-20 21:56:58
可以考虑下商品化的蚀刻液

请教一下,这种刻蚀衬底得到薄膜的方法能保证膜的粗糙度吗,我需要1nm级别的粗糙度
3楼2014-10-20 22:26:49
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peterflyer

木虫之王 (文学泰斗)

peterflyer


【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
能溶解Si的一般只有两种物质:氢氟酸和烧碱。氢氟酸会在腐蚀硅的同时腐蚀铜的,不考虑;那就只有烧碱氢氧化钠了。楼主说腐蚀速度慢,那能否加热呢一些温度?能否超声辅助呢?
4楼2014-10-21 10:10:08
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