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甘道夫v5

新虫 (初入文坛)

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专业: 光学

[求助] rie刻蚀pmma

我用RIE刻蚀pmma脱残胶的时候发现存在很严重的草地现象，有在做rie方面的大神吗，请问这种现象的形成原因和解决办法。
3-1和3-2分别是刻蚀前和刻蚀后SEM扫描。

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@yswyx

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愿你已放下，常驻光明中

1楼 2014-10-20 10:57:07

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speedangle

金虫 (小有名气)

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请问问题解决了吗

2楼2021-07-12 22:07:43

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