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rie刻蚀pmma
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我用RIE刻蚀pmma脱残胶的时候发现存在很严重的草地现象，有在做rie方面的大神吗，请问这种现象的形成原因和解决办法。 3-1和3-2分别是刻蚀前和刻蚀后SEM扫描。 |
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speedangle
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