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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 学术交流 » 硅纳米线金属辅助刻蚀
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zeze310

新虫 (初入文坛)

[求助] 硅纳米线金属辅助刻蚀 已有1人参与

本人用辅助刻蚀p-type （100）轻掺杂硅纳米线，用AgNO3和HF沉积Ag颗粒，之后用H2O2和HF室温刻蚀。
但是得到的硅表面呈现深绿色，表面很粗糙。没有生成很好的线。请问这是什么问题啊？

硅纳米线金属辅助刻蚀
P50S30M1.jpg
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1楼 2014-09-21 15:58:32
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pok236

木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
你张图我看不太清楚  最好有个高倍一点看截面更清楚  不过感觉上还是刻出线来了  这个东西用N掺的刻蚀速率更快    你这个图看上去感觉是刻过了  时间长了  破坏严重了点
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2楼2014-09-22 17:04:37
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zeze310

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by pok236 at 2014-09-22 17:04:37
你张图我看不太清楚  最好有个高倍一点看截面更清楚  不过感觉上还是刻出线来了  这个东西用N掺的刻蚀速率更快    你这个图看上去感觉是刻过了  时间长了  破坏严重了点

下边是失败的纳米线，很粗糙，上边是之前相同条件下做的，结构很好。但是怎么都重复不出来了。
硅纳米线金属辅助刻蚀-1
NTYPE04.jpg


硅纳米线金属辅助刻蚀-2
P50S30M2.jpg
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3楼2014-09-24 11:29:52
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pok236

木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

引用回帖:
3楼: Originally posted by zeze310 at 2014-09-24 11:29:52
下边是失败的纳米线，很粗糙，上边是之前相同条件下做的，结构很好。但是怎么都重复不出来了。

NTYPE04.jpg

P50S30M2.jpg
...

下面这种我也常见，感觉是没有完全刻开，不知道你每次用的刻蚀液是不是同一瓶，这个浓度影响比较明显，再就是条件可以变变，温度低一点反应更温和

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4楼2014-09-24 18:06:30
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pok236

木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

引用回帖:
3楼: Originally posted by zeze310 at 2014-09-24 11:29:52
下边是失败的纳米线，很粗糙，上边是之前相同条件下做的，结构很好。但是怎么都重复不出来了。

NTYPE04.jpg

P50S30M2.jpg
...

我多数是五十度做的，刻十个微米也就是十分钟可以多试试

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5楼2014-09-24 18:08:10
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zeze310

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
5楼: Originally posted by pok236 at 2014-09-24 18:08:10
我多数是五十度做的，刻十个微米也就是十分钟可以多试试
...

50度的话，是用HF和AgNO3作为刻蚀液么？
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6楼2014-09-25 09:30:32
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pok236

木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

引用回帖:
6楼: Originally posted by zeze310 at 2014-09-25 09:30:32
50度的话，是用HF和AgNO3作为刻蚀液么？...

是，直接一锅出来，没有加双氧水

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7楼2014-09-25 18:23:09
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tjf001

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
7楼: Originally posted by pok236 at 2014-09-25 18:23:09
是，直接一锅出来，没有加双氧水
...

前辈有没有做过北师大彭奎庆的那种沉积银颗粒然后用铁离子刻蚀的方法？
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8楼2014-10-11 18:45:34
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pok236

木虫 (著名写手)
引用回帖:
8楼: Originally posted by tjf001 at 2014-10-11 18:45:34
前辈有没有做过北师大彭奎庆的那种沉积银颗粒然后用铁离子刻蚀的方法？...

没有做过这种   我大多都是多孔硅线   最初是学的杨培东那篇nanolett做的
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9楼2014-10-11 20:25:19
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