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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 学术交流 » 硅纳米线金属辅助刻蚀
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zeze310

新虫 (初入文坛)

[求助] 硅纳米线金属辅助刻蚀 已有1人参与

本人用辅助刻蚀p-type （100）轻掺杂硅纳米线，用AgNO3和HF沉积Ag颗粒，之后用H2O2和HF室温刻蚀。
但是得到的硅表面呈现深绿色，表面很粗糙。没有生成很好的线。请问这是什么问题啊？

硅纳米线金属辅助刻蚀
P50S30M1.jpg
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1楼 2014-09-21 15:58:32
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pok236

木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

引用回帖:
3楼: Originally posted by zeze310 at 2014-09-24 11:29:52
下边是失败的纳米线，很粗糙，上边是之前相同条件下做的，结构很好。但是怎么都重复不出来了。

NTYPE04.jpg

P50S30M2.jpg
...

我多数是五十度做的，刻十个微米也就是十分钟可以多试试

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funny
5楼2014-09-24 18:08:10
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pok236

木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
你张图我看不太清楚  最好有个高倍一点看截面更清楚  不过感觉上还是刻出线来了  这个东西用N掺的刻蚀速率更快    你这个图看上去感觉是刻过了  时间长了  破坏严重了点
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2楼2014-09-22 17:04:37
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zeze310

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by pok236 at 2014-09-22 17:04:37
你张图我看不太清楚  最好有个高倍一点看截面更清楚  不过感觉上还是刻出线来了  这个东西用N掺的刻蚀速率更快    你这个图看上去感觉是刻过了  时间长了  破坏严重了点

下边是失败的纳米线，很粗糙，上边是之前相同条件下做的，结构很好。但是怎么都重复不出来了。
硅纳米线金属辅助刻蚀-1
NTYPE04.jpg


硅纳米线金属辅助刻蚀-2
P50S30M2.jpg
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3楼2014-09-24 11:29:52
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pok236

木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

引用回帖:
3楼: Originally posted by zeze310 at 2014-09-24 11:29:52
下边是失败的纳米线，很粗糙，上边是之前相同条件下做的，结构很好。但是怎么都重复不出来了。

NTYPE04.jpg

P50S30M2.jpg
...

下面这种我也常见，感觉是没有完全刻开，不知道你每次用的刻蚀液是不是同一瓶，这个浓度影响比较明显，再就是条件可以变变，温度低一点反应更温和

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4楼2014-09-24 18:06:30
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