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cwr119

铜虫 (初入文坛)

[求助] 在硅片上生长一层SiN 已有2人参与

在硅片上生长一层SiN,除了PECVD,还有没有别的方法?对生长好的层进行光刻法有没有好的办法?国内在哪可以进行光刻?
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zjlenny

木虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
LPCVD,您是要低应力的嘛
2楼2014-10-20 16:32:43
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lee0803

木虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
一般用CVD的比较多。光刻的话,好多高校研究所都有光刻机的,可以在附近高校研究所(特别是有半导体,光电专业的)问问。
3楼2014-10-20 18:15:44
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