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cwr119

铜虫 (初入文坛)

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[求助] 在硅片上生长一层SiN已有2人参与

在硅片上生长一层SiN，除了PECVD，还有没有别的方法？对生长好的层进行光刻法有没有好的办法？国内在哪可以进行光刻？

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1楼2014-10-20 10:14:10

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zjlenny

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LPCVD，您是要低应力的嘛

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2楼2014-10-20 16:32:43

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lee0803

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一般用CVD的比较多。光刻的话，好多高校研究所都有光刻机的，可以在附近高校研究所（特别是有半导体，光电专业的）问问。

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3楼2014-10-20 18:15:44

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