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我想来学知识

金虫 (小有名气)

[求助] 硅基板与硅基板、硅基板与玻璃的焊接封装 已有3人参与

硅基板之间的钎焊焊接,表面该用什么金属化工艺?镀层是哪些金属较好?镀层金属的厚度该多厚?同问硅基板与玻璃、玻璃和金属钎焊中玻璃的金属化工艺及镀层厚度。
小木虫那么多做研究的人,应该有做金属化处理的大神吧?做钎料的大神也可以来教导。
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我真的是来学习的
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我想来学知识

金虫 (小有名气)

引用回帖:
2楼: Originally posted by yswyx at 2014-09-18 15:54:42
你换一个次来搜索就明白了。
在微细加工领域,这个叫键合,或者是晶圆级键合,wafer bonding,对应的晶圆级封装,wafer level packaging。
硅和硅的键合,不加介质层,直接键合,叫direct bonding,这个最难。
加 ...

我知道键合
我要的不是键合
我是在硅基板上焊芯片(硅质)和微带(石英玻璃)
打算用铟钎料
所以要镀层
我真的是来学习的
3楼2014-09-19 13:47:37
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金虫 (小有名气)

引用回帖:
5楼: Originally posted by yswyx at 2014-09-22 16:48:07
那还不是键合???
你去查flip chip bonding和reflow bonding好了。
In焊料的耐温和可靠性很差,现在还少用这么落后的东西了。...

我只是想知道玻璃的镀层等,你说再多这些也解决不了我的问题啊

[ 发自小木虫客户端 ]
我真的是来学习的
6楼2014-09-23 19:04:23
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金虫 (小有名气)

引用回帖:
7楼: Originally posted by yswyx at 2014-09-23 19:16:07
常见的镀层是Cr/Au,Cr/Cu,厚度都很薄,Cr有几个nm到几十nm,Au或者铜都是击败nm。
做In钎焊还不如做Au/Sn钎焊,钎焊质量好多了。...

Cr可以直接镀在玻璃或硅基板上吗?我问了其他人,好些都说钛镍金,
我真的是来学习的
8楼2014-09-24 09:23:13
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金虫 (小有名气)

引用回帖:
9楼: Originally posted by yswyx at 2014-09-24 21:02:08
Cr,Ti,Ni都可以作为过渡层。一般Cr和Ti在底下,Ni作为阻挡层可以不做,再溅射金...

Cr,Ti,Ni都可以作为过渡层,镍不也是焊接层吗,金只是保护层吧
如果不镀镍的话,过度层要多厚,3-6μm可以?
我真的是来学习的
10楼2014-09-25 11:28:51
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