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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 无机非金属 » 综合其它 » 玻璃基板表面制作电极
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sophia81016

新虫 (初入文坛)

[求助] 玻璃基板表面制作电极 已有3人参与

本人现在要做一个LED封装的课题，采用的基板是玻璃基板，现在需要在玻璃基板表面制作电极，请教各位虫友，有什么办法在玻璃表面制作电极？
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1楼 2013-12-18 15:36:21
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yswyx

专家顾问 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
cqbpatriot: 回帖置顶 2013-12-20 19:13:57
溅射金属，然后光刻腐蚀，很简单的。但是如果是Au电极的话，就会比较贵。
可以站内联系“静静一yi”
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3楼2013-12-19 16:36:37
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sophia81016

新虫 (初入文坛)
2楼2013-12-19 10:03:30
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sophia81016

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
3楼: Originally posted by yswyx at 2013-12-19 16:36:37
溅射金属，然后光刻腐蚀，很简单的。但是如果是Au电极的话，就会比较贵。
可以站内联系“静静一yi”

谢谢，有没有什么烧结的？
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4楼2013-12-20 15:50:24
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yswyx

专家顾问 (著名写手)
引用回帖:
4楼: Originally posted by sophia81016 at 2013-12-20 15:50:24
谢谢，有没有什么烧结的？...

烧结的是用金属浆料做的电极，用的是丝网印刷工艺。
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5楼2013-12-23 13:31:44
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jance121

金虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

丝网印刷的工艺做出来的，还需要电镀才能满足相关的性能要求
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6楼2013-12-23 18:55:54
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sophia81016

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
5楼: Originally posted by yswyx at 2013-12-23 13:31:44
烧结的是用金属浆料做的电极，用的是丝网印刷工艺。...

谢谢！！！
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7楼2013-12-25 15:09:55
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sophia81016

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
6楼: Originally posted by jance121 at 2013-12-23 18:55:54
丝网印刷的工艺做出来的，还需要电镀才能满足相关的性能要求

谢谢！！！
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8楼2013-12-25 15:10:03
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Giantslug

金虫 (小有名气)

纳米工匠

【答案】应助回帖

这要看你计划制作什么样的电极了。
通常，采用光学光刻的方法，形成电极图形，然后进行所谓金属化，沉积一层Cr/Au薄膜，最后去胶剥离（lift-off)就可以了。注意，由于晶格匹配的要求，最好在金薄膜下面铺垫一层粘结性的鉻金层或者钛金薄膜。
此外，如果尺寸小于一个微米，那就得用电子束光刻或者激光束直写方式来形成电极图形。
最后有一种先进的方法，就是采用所谓Stencil Lithography，可以利用预先在SiNx Stencil上制作好的电极图形，直接通过淹摸版（Stencil）来蒸发沉积Cr/Au薄膜，形成电极。
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展示所有自己研发的纳米制备工艺成果给大家，是本木虫的宗旨。
9楼2014-01-16 21:52:05
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