24小时热门版块排行榜    

查看: 1816  |  回复: 8
当前只显示满足指定条件的回帖,点击这里查看本话题的所有回帖

sophia81016

新虫 (初入文坛)

[求助] 玻璃基板表面制作电极 已有3人参与

本人现在要做一个LED封装的课题,采用的基板是玻璃基板,现在需要在玻璃基板表面制作电极,请教各位虫友,有什么办法在玻璃表面制作电极?
回复此楼
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

Giantslug

金虫 (小有名气)

纳米工匠

【答案】应助回帖

这要看你计划制作什么样的电极了。
通常,采用光学光刻的方法,形成电极图形,然后进行所谓金属化,沉积一层Cr/Au薄膜,最后去胶剥离(lift-off)就可以了。注意,由于晶格匹配的要求,最好在金薄膜下面铺垫一层粘结性的鉻金层或者钛金薄膜。
此外,如果尺寸小于一个微米,那就得用电子束光刻或者激光束直写方式来形成电极图形。
最后有一种先进的方法,就是采用所谓Stencil Lithography,可以利用预先在SiNx Stencil上制作好的电极图形,直接通过淹摸版(Stencil)来蒸发沉积Cr/Au薄膜,形成电极。
展示所有自己研发的纳米制备工艺成果给大家,是本木虫的宗旨。
9楼2014-01-16 21:52:05
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 9 个回答

yswyx

专家顾问 (著名写手)


【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
cqbpatriot: 回帖置顶 2013-12-20 19:13:57
溅射金属,然后光刻腐蚀,很简单的。但是如果是Au电极的话,就会比较贵。
可以站内联系“静静一yi”
3楼2013-12-19 16:36:37
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

sophia81016

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
3楼: Originally posted by yswyx at 2013-12-19 16:36:37
溅射金属,然后光刻腐蚀,很简单的。但是如果是Au电极的话,就会比较贵。
可以站内联系“静静一yi”

谢谢,有没有什么烧结的?
4楼2013-12-20 15:50:24
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

yswyx

专家顾问 (著名写手)


引用回帖:
4楼: Originally posted by sophia81016 at 2013-12-20 15:50:24
谢谢,有没有什么烧结的?...

烧结的是用金属浆料做的电极,用的是丝网印刷工艺。
5楼2013-12-23 13:31:44
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
信息提示
请填处理意见