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sophia81016

新虫 (初入文坛)

[求助] 玻璃基板表面制作电极 已有3人参与

本人现在要做一个LED封装的课题,采用的基板是玻璃基板,现在需要在玻璃基板表面制作电极,请教各位虫友,有什么办法在玻璃表面制作电极?
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sophia81016

新虫 (初入文坛)

2楼2013-12-19 10:03:30
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yswyx

专家顾问 (著名写手)


【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
cqbpatriot: 回帖置顶 2013-12-20 19:13:57
溅射金属,然后光刻腐蚀,很简单的。但是如果是Au电极的话,就会比较贵。
可以站内联系“静静一yi”
3楼2013-12-19 16:36:37
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sophia81016

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
3楼: Originally posted by yswyx at 2013-12-19 16:36:37
溅射金属,然后光刻腐蚀,很简单的。但是如果是Au电极的话,就会比较贵。
可以站内联系“静静一yi”

谢谢,有没有什么烧结的?
4楼2013-12-20 15:50:24
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yswyx

专家顾问 (著名写手)


引用回帖:
4楼: Originally posted by sophia81016 at 2013-12-20 15:50:24
谢谢,有没有什么烧结的?...

烧结的是用金属浆料做的电极,用的是丝网印刷工艺。
5楼2013-12-23 13:31:44
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jance121

金虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

丝网印刷的工艺做出来的,还需要电镀才能满足相关的性能要求
6楼2013-12-23 18:55:54
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sophia81016

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
5楼: Originally posted by yswyx at 2013-12-23 13:31:44
烧结的是用金属浆料做的电极,用的是丝网印刷工艺。...

谢谢!!!
7楼2013-12-25 15:09:55
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sophia81016

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
6楼: Originally posted by jance121 at 2013-12-23 18:55:54
丝网印刷的工艺做出来的,还需要电镀才能满足相关的性能要求

谢谢!!!
8楼2013-12-25 15:10:03
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Giantslug

金虫 (小有名气)

纳米工匠

【答案】应助回帖

这要看你计划制作什么样的电极了。
通常,采用光学光刻的方法,形成电极图形,然后进行所谓金属化,沉积一层Cr/Au薄膜,最后去胶剥离(lift-off)就可以了。注意,由于晶格匹配的要求,最好在金薄膜下面铺垫一层粘结性的鉻金层或者钛金薄膜。
此外,如果尺寸小于一个微米,那就得用电子束光刻或者激光束直写方式来形成电极图形。
最后有一种先进的方法,就是采用所谓Stencil Lithography,可以利用预先在SiNx Stencil上制作好的电极图形,直接通过淹摸版(Stencil)来蒸发沉积Cr/Au薄膜,形成电极。
展示所有自己研发的纳米制备工艺成果给大家,是本木虫的宗旨。
9楼2014-01-16 21:52:05
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