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gao198907

铜虫 (小有名气)

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[求助] 电子束蒸发YIG材料已有2人参与

大家好，我是做电子束蒸发方向的，新买的电子束蒸发设备，用来蒸发Y3Fe5O12这种材料，大块靶材蒸发时碎裂弹出坩埚，所以把靶材敲成小碎块，发现薄膜生长速度0.1埃左右很慢，像镀铝这种就很快，是什么原因。

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1楼 2014-09-03 16:22:52

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gao198907

铜虫 (小有名气)

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引用回帖:

5楼: Originally posted by whywhy01 at 2014-09-04 10:12:29
像YIG这种氧化物靶材确实应该是块体或者粉末状的，不容易裂开。
YIG本身熔点比较高，蒸发慢，镀膜速度肯定比不上铝这样的低熔点金属。提高电子束功率就能镀快一些。另外还要注意电子束的扫描模式，蒸镀金属的时候电 ...

靶材也用过粉末状的，用的纳米粉末压成片，但是没有烧结致密度差，里面有空气，对真空影响很大，还没开始真空度都到10^—2级别了，我们电子枪工作压强要在5×10^-2以下，所以电子枪会自动关掉，而且加束流的时候，我慢慢加，小的时候没有速度，大的时候靶材和放烟花一样，一下子往外面溅出来，真空度暴涨。

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