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gao198907

铜虫 (小有名气)

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专业: 半导体晶体与薄膜材料

[求助] 电子束蒸发YIG材料已有2人参与

大家好，我是做电子束蒸发方向的，新买的电子束蒸发设备，用来蒸发Y3Fe5O12这种材料，大块靶材蒸发时碎裂弹出坩埚，所以把靶材敲成小碎块，发现薄膜生长速度0.1埃左右很慢，像镀铝这种就很快，是什么原因。

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薄膜

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1楼 2014-09-03 16:22:52

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whywhy01

金虫 (小有名气)

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专业: 凝聚态物性 II ：电子结构

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1

像YIG这种氧化物靶材确实应该是块体或者粉末状的，不容易裂开。
YIG本身熔点比较高，蒸发慢，镀膜速度肯定比不上铝这样的低熔点金属。提高电子束功率就能镀快一些。另外还要注意电子束的扫描模式，蒸镀金属的时候电子束斑是集中在很小的点上的，镀氧化物电子束应该是在整个靶材表面扫描，这样受热均匀。
我觉得镀YIG这样的复杂氧化物0.1A/s的速度应该够了，镀慢一点薄膜质量好一些...