24小时热门版块排行榜    

查看: 2821  |  回复: 11
当前只显示满足指定条件的回帖,点击这里查看本话题的所有回帖

gao198907

铜虫 (小有名气)

[求助] 电子束蒸发YIG材料 已有2人参与

大家好,我是做电子束蒸发方向的,新买的电子束蒸发设备,用来蒸发Y3Fe5O12这种材料,大块靶材蒸发时碎裂弹出坩埚,所以把靶材敲成小碎块,发现薄膜生长速度0.1埃左右很慢,像镀铝这种就很快,是什么原因。
回复此楼
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

wbcui

至尊木虫 (知名作家)

引用回帖:
3楼: Originally posted by gao198907 at 2014-09-03 19:15:52
调距离,工程师说这个距离小了,膜厚就不均匀了...

哦,你们的应该是共沉积,抢是斜着的那种。这样的确会引起膜厚不均匀。


你们的设备是哪里买的?多少钱?
4楼2014-09-03 21:17:18
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 12 个回答

wbcui

至尊木虫 (知名作家)

电子束蒸发本来就很慢,你可以调靶-沉淀间距

你们买的哪里的电子束蒸发系统?多少钱?
2楼2014-09-03 17:31:20
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

gao198907

铜虫 (小有名气)

引用回帖:
2楼: Originally posted by wbcui at 2014-09-03 17:31:20
电子束蒸发本来就很慢,你可以调靶-沉淀间距

你们买的哪里的电子束蒸发系统?多少钱?

调距离,工程师说这个距离小了,膜厚就不均匀了
3楼2014-09-03 18:15:52
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

whywhy01

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
像YIG这种氧化物靶材确实应该是块体或者粉末状的,不容易裂开。
YIG本身熔点比较高,蒸发慢,镀膜速度肯定比不上铝这样的低熔点金属。提高电子束功率就能镀快一些。另外还要注意电子束的扫描模式,蒸镀金属的时候电子束斑是集中在很小的点上的,镀氧化物电子束应该是在整个靶材表面扫描,这样受热均匀。
我觉得镀YIG这样的复杂氧化物0.1A/s的速度应该够了,镀慢一点薄膜质量好一些...
5楼2014-09-04 10:12:29
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[基金申请] 售SCI-T0P文章,我:8O.5.5.1.O.54,科目齐全,可+急 +3 XJXMuRjD7cK7 2026-11-13 3/150 2026-11-13 23:37 by 6PrO1XyZ5URF
[公派出国] 售SCI一区文章,我:8.O.551.O.5.4,科目全,可伽急 +4 G2rhSvqvhNzl 2026-11-10 5/250 2026-11-13 11:37 by Equinoxhua
[考博] 27博士申请(市政/环境) +3 ladf 2026-11-12 3/150 2026-11-13 08:19 by Equinoxhua
[硕博家园] 售SCI一区文章,我:8.O.551.O.5.4,科目全,可伽急 +3 TgvkbZZl9tqB 2026-11-11 4/200 2026-11-12 12:28 by ECLTXnJnRSXf
[基金申请] 售SCI-T0P文章,我:8O.5.5.1.O.54,科目齐全,可+急 +4 Z7qfCsdIiD1T 2026-11-10 7/350 2026-11-12 11:33 by HajghKOMynmz
[考博] 售SCI一区T0P文章,我:8.O55.1.O.54,科目全,可十急 +3 Z7qfCsdIiD1T 2026-11-10 5/250 2026-11-12 11:25 by HajghKOMynmz
[考研] 售SCI一区文章,我:8.O.55.1.O.54,科目齐全,可伽急 +5 Z7qfCsdIiD1T 2026-11-10 8/400 2026-11-12 11:22 by HajghKOMynmz
[硕博家园] 售SCI-T0P文章,我:8O.5.5.1.O.54,科目齐全,可+急 +5 Z7qfCsdIiD1T 2026-11-10 8/400 2026-11-12 11:20 by HajghKOMynmz
[公派出国] 售SCI一区文章,我:8.O.551.O.5.4,科目全,可伽急 +3 czAiolzR0IJC 2026-11-10 8/400 2026-11-12 11:11 by HajghKOMynmz
[考研] 售SCI一区T0P文章,我:8O.55.1.O.5.4,科目齐全,可+急 +5 czAiolzR0IJC 2026-11-10 6/300 2026-11-12 11:03 by HajghKOMynmz
[基金申请] 售SCI一区文章,我:8.O.551.O.5.4,科目全,可伽急 +5 G2rhSvqvhNzl 2026-11-10 7/350 2026-11-12 10:49 by HajghKOMynmz
[考博] 售SCI一区T0P文章,我:8.O.55.1.O.54,科目齐全,可+急 +3 G2rhSvqvhNzl 2026-11-10 5/250 2026-11-12 10:49 by HajghKOMynmz
[硕博家园] 售SCI-T0P文章,我:8O.5.5.1.O.54,科目齐全,可+急 +5 G2rhSvqvhNzl 2026-11-10 6/300 2026-11-12 10:30 by HajghKOMynmz
[考博] 售SCI一区T0P文章,我:8O.55.1.O.5.4,科目齐全,可+急 +6 YHiw1gou1Eda 2026-11-10 6/300 2026-11-12 10:08 by HajghKOMynmz
[教师之家] 售SCI一区T0P文章,我:8.O.55.1.O54,科目全,可伽急 +7 FChKX8meu1ds 2026-11-09 12/600 2026-11-12 09:43 by HajghKOMynmz
[基金申请] 售SCI一区文章,我:8.O.551.O.5.4,科目全,可伽急 +3 TgvkbZZl9tqB 2026-11-11 5/250 2026-11-12 08:15 by HajghKOMynmz
[公派出国] 售SCI一区T0P文章,我:8O.55.1.O.5.4,科目齐全,可+急 +3 czAiolzR0IJC 2026-11-10 5/250 2026-11-12 06:36 by 9fOTqj074tIg
[考博] 售SCI一区T0P文章,我:8.O.55.1.O.54,科目齐全,可+急 +3 FChKX8meu1ds 2026-11-09 8/400 2026-11-12 05:30 by 9fOTqj074tIg
[基金申请] 售SCI一区T0P文章,我:8.O.55.1.O.5.4,科目全,可+急 +3 FChKX8meu1ds 2026-11-09 7/350 2026-11-12 05:19 by 9fOTqj074tIg
[硕博家园] 售SCI一区T0P文章,我:8.O55.1.O.54,科目全,可十急 +5 FChKX8meu1ds 2026-11-09 6/300 2026-11-11 17:03 by TgvkbZZl9tqB
信息提示
请填处理意见