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kevin123581

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[交流] 请教TOF-SIMS的问题已有5人参与

做薄膜的深度成分比分析,试了eds,但是图形一直移动不准确,所以尝试了用tof-sims,但是对于测试结果不是很清楚,所以在此处请教下。
对于纵坐标的intensity代表的什么, 可以转化成成分比么,比如不同元素的原子比什么的。
横坐标是时间, 可以转化为厚度,但是,剥离速率是一定的嘛?  还是说对于不同的材料成分速率是不同的?
谢谢大家

请教TOF-SIMS的问题
tof-sims测试结果(Functional graded DLC+silicon substrate).png
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