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kevin123581金虫 (正式写手)
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请教TOF-SIMS的问题 已有5人参与
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做薄膜的深度成分比分析，试了eds，但是图形一直移动不准确，所以尝试了用tof-sims，但是对于测试结果不是很清楚，所以在此处请教下。 对于纵坐标的intensity代表的什么， 可以转化成成分比么，比如不同元素的原子比什么的。 横坐标是时间， 可以转化为厚度，但是，剥离速率是一定的嘛？ 还是说对于不同的材料成分速率是不同的？ 谢谢大家  tof-sims测试结果（Functional graded DLC+silicon substrate）.png |
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