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北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
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kevin123581

金虫 (正式写手)

[交流] 请教TOF-SIMS的问题 已有5人参与

做薄膜的深度成分比分析，试了eds，但是图形一直移动不准确，所以尝试了用tof-sims，但是对于测试结果不是很清楚，所以在此处请教下。
对于纵坐标的intensity代表的什么， 可以转化成成分比么，比如不同元素的原子比什么的。
横坐标是时间， 可以转化为厚度，但是，剥离速率是一定的嘛？  还是说对于不同的材料成分速率是不同的？
谢谢大家

请教TOF-SIMS的问题
tof-sims测试结果（Functional graded DLC+silicon substrate）.png
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1楼 2014-08-12 15:18:57
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gxytju2008

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kevin123581: 金币+10 2014-08-13 13:43:08
Intensity就是计数的意思，检测器收到的离子数目，通常SIMS无法给出定量分析，除非有非常可比的标样校准，否则半定量还是推荐用xps做，剥离厚度和你的材料当然有关，如果需要精确的话也需要标定，剥离比较长时间以后用电镜或者其他手段测厚度变化再转化成速率，一般仪器给出的标准值都是对SiO2的剥离速度的
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2楼2014-08-12 16:32:23
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kevin123581

金虫 (正式写手)
引用回帖:
2楼: Originally posted by gxytju2008 at 2014-08-12 16:32:23
Intensity就是计数的意思，检测器收到的离子数目，通常SIMS无法给出定量分析，除非有非常可比的标样校准，否则半定量还是推荐用xps做，剥离厚度和你的材料当然有关，如果需要精确的话也需要标定，剥离比较长时间以后 ...

上面的红线200秒左右去之前都是纯碳，那我可以吧最大值取出来，做比值而得到碳的半分比么。  剥离速度我知道有区别，只是不晓得区别大小，比如在很小范围内的话是不是可以当做常数来简化问题。

我薄膜600多nm， xps貌似太难了

谢谢
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3楼2014-08-12 16:56:46
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gxytju2008

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3楼: Originally posted by kevin123581 at 2014-08-12 16:56:46
上面的红线200秒左右去之前都是纯碳，那我可以吧最大值取出来，做比值而得到碳的半分比么。  剥离速度我知道有区别，只是不晓得区别大小，比如在很小范围内的话是不是可以当做常数来简化问题。

我薄膜600多nm， ...

基本不太可以，这个只是一个离子峰的大小，不代表全部碳元素的峰的，可能会和其他元素一起出来，区别大小很难说了，有机无机，什么元素什么物质，各种都有关系，xps和多厚没啥关系啊，SIMS也是一层层取的嗯
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4楼2014-08-12 18:43:17
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kevin123581

金虫 (正式写手)
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4楼: Originally posted by gxytju2008 at 2014-08-12 18:43:17
基本不太可以，这个只是一个离子峰的大小，不代表全部碳元素的峰的，可能会和其他元素一起出来，区别大小很难说了，有机无机，什么元素什么物质，各种都有关系，xps和多厚没啥关系啊，SIMS也是一层层取的嗯...

哦  ，那就是说基本不可以算得出元素比例呢。  无机的材料，就是纯碳和不锈钢的元素按照一定比例混合。  被人告诉我xps剥离速度只有70nm/hR.  太厚的太费时间，而且会损伤设备。
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5楼2014-08-13 09:06:00
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gxytju2008

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5楼: Originally posted by kevin123581 at 2014-08-13 09:06:00
哦  ，那就是说基本不可以算得出元素比例呢。  无机的材料，就是纯碳和不锈钢的元素按照一定比例混合。  被人告诉我xps剥离速度只有70nm/hR.  太厚的太费时间，而且会损伤设备。...

我们这用的溅射离子枪两个都是氩的，。。所以就没啥区别的

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6楼2014-08-13 09:20:38
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kevin123581

金虫 (正式写手)
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6楼: Originally posted by gxytju2008 at 2014-08-13 09:20:38
我们这用的溅射离子枪两个都是氩的，。。所以就没啥区别的
...

哦 ，谢谢。
那我再问一个问题，请问如果想测薄膜厚度方向的元素比例，说了么设备比较好用？
薄膜大概600nm厚，都是无机材料，谢谢
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7楼2014-08-13 13:42:57
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gxytju2008

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小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
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7楼: Originally posted by kevin123581 at 2014-08-13 13:42:57
哦 ，谢谢。
那我再问一个问题，请问如果想测薄膜厚度方向的元素比例，说了么设备比较好用？
薄膜大概600nm厚，都是无机材料，谢谢...

我能想到的能做定量的就是xps了，离子枪逐层溅射，或者如果厚度大直接做截面的扫描电镜，配合背散射或者Eds探头

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
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8楼2014-08-13 14:14:23
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cdchen2003cd

捐助贵宾 (正式写手)
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小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
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7楼: Originally posted by kevin123581 at 2014-08-13 13:42:57
哦 ，谢谢。
那我再问一个问题，请问如果想测薄膜厚度方向的元素比例，说了么设备比较好用？
薄膜大概600nm厚，都是无机材料，谢谢...

用辉光放电光谱仪比较好，定量需要标准品，否则无法算出含量
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9楼2014-08-13 16:57:14
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cdchen2003cd

捐助贵宾 (正式写手)
你这个测试结果，C和Sr信号饱和了，更加无法计算含量
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10楼2014-08-13 16:58:45
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