24小时热门版块排行榜    

查看: 3604  |  回复: 24
当前只显示满足指定条件的回帖,点击这里查看本话题的所有回帖

kevin123581

金虫 (正式写手)

[交流] 请教TOF-SIMS的问题 已有5人参与

做薄膜的深度成分比分析,试了eds,但是图形一直移动不准确,所以尝试了用tof-sims,但是对于测试结果不是很清楚,所以在此处请教下。
对于纵坐标的intensity代表的什么, 可以转化成成分比么,比如不同元素的原子比什么的。
横坐标是时间, 可以转化为厚度,但是,剥离速率是一定的嘛?  还是说对于不同的材料成分速率是不同的?
谢谢大家

请教TOF-SIMS的问题
tof-sims测试结果(Functional graded DLC+silicon substrate).png
回复此楼

» 收录本帖的淘帖专辑推荐

锂电池常见问题汇总

» 本帖已获得的红花(最新10朵)

» 猜你喜欢

» 本主题相关商家推荐: (我也要在这里推广)

» 本主题相关价值贴推荐,对您同样有帮助:

已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

gxytju2008

专家顾问 (文坛精英)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
引用回帖:
3楼: Originally posted by kevin123581 at 2014-08-12 16:56:46
上面的红线200秒左右去之前都是纯碳,那我可以吧最大值取出来,做比值而得到碳的半分比么。  剥离速度我知道有区别,只是不晓得区别大小,比如在很小范围内的话是不是可以当做常数来简化问题。

我薄膜600多nm, ...

基本不太可以,这个只是一个离子峰的大小,不代表全部碳元素的峰的,可能会和其他元素一起出来,区别大小很难说了,有机无机,什么元素什么物质,各种都有关系,xps和多厚没啥关系啊,SIMS也是一层层取的嗯
4楼2014-08-12 18:43:17
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 25 个回答

gxytju2008

专家顾问 (文坛精英)

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
kevin123581: 金币+10 2014-08-13 13:43:08
Intensity就是计数的意思,检测器收到的离子数目,通常SIMS无法给出定量分析,除非有非常可比的标样校准,否则半定量还是推荐用xps做,剥离厚度和你的材料当然有关,如果需要精确的话也需要标定,剥离比较长时间以后用电镜或者其他手段测厚度变化再转化成速率,一般仪器给出的标准值都是对SiO2的剥离速度的
2楼2014-08-12 16:32:23
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

kevin123581

金虫 (正式写手)

引用回帖:
2楼: Originally posted by gxytju2008 at 2014-08-12 16:32:23
Intensity就是计数的意思,检测器收到的离子数目,通常SIMS无法给出定量分析,除非有非常可比的标样校准,否则半定量还是推荐用xps做,剥离厚度和你的材料当然有关,如果需要精确的话也需要标定,剥离比较长时间以后 ...

上面的红线200秒左右去之前都是纯碳,那我可以吧最大值取出来,做比值而得到碳的半分比么。  剥离速度我知道有区别,只是不晓得区别大小,比如在很小范围内的话是不是可以当做常数来简化问题。

我薄膜600多nm, xps貌似太难了

谢谢
3楼2014-08-12 16:56:46
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

kevin123581

金虫 (正式写手)

引用回帖:
4楼: Originally posted by gxytju2008 at 2014-08-12 18:43:17
基本不太可以,这个只是一个离子峰的大小,不代表全部碳元素的峰的,可能会和其他元素一起出来,区别大小很难说了,有机无机,什么元素什么物质,各种都有关系,xps和多厚没啥关系啊,SIMS也是一层层取的嗯...

哦  ,那就是说基本不可以算得出元素比例呢。  无机的材料,就是纯碳和不锈钢的元素按照一定比例混合。  被人告诉我xps剥离速度只有70nm/hR.  太厚的太费时间,而且会损伤设备。
5楼2014-08-13 09:06:00
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
普通表情 高级回复 (可上传附件)
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[博后之家] 售SCI一区文章,我:8 O5 51O 54,科目齐全,可+急 +3 pnpwoqbg8f 2026-02-16 4/200 2026-02-18 18:12 by 7pdbc5bdo2
[公派出国] 售SCI一区文章,我:8 O5 51O 54,科目齐全,可+急 +4 pnpwoqbg8f 2026-02-16 4/200 2026-02-18 18:10 by 7pdbc5bdo2
[考研] 售SCI一区文章,我:8 O5 51O 54,科目齐全,可+急 +3 pnpwoqbg8f 2026-02-16 4/200 2026-02-18 17:57 by 7pdbc5bdo2
[基金申请] 情人节自我反思:在爱情中有过遗憾吗? +5 瞬息宇宙 2026-02-15 6/300 2026-02-18 12:51 by 月下雪林
[找工作] 售SCI一区文章,我:8 O5 51O 54,科目齐全,可+急 +3 i3cz6qj6l2 2026-02-17 3/150 2026-02-18 11:09 by lqtl9djx19
[考博] 售SCI一区文章,我:8 O5 51O 54,科目齐全,可+急 +3 i3cz6qj6l2 2026-02-17 3/150 2026-02-18 10:54 by lqtl9djx19
[考研] 售SCI一区文章,我:8 O5 51O 54,科目齐全,可+急 +3 i3cz6qj6l2 2026-02-17 3/150 2026-02-18 10:39 by lqtl9djx19
[硕博家园] 售SCI一区文章,我:8 O5 51O 54,科目齐全,可+急 +3 pnpwoqbg8f 2026-02-17 3/150 2026-02-18 08:38 by lqtl9djx19
[找工作] 售SCI一区文章,我:8 O5 51O 54,科目齐全,可+急 +4 pnpwoqbg8f 2026-02-17 4/200 2026-02-18 07:55 by lotyj5cz79
[基金申请] 售SCI一区文章,我:8 O5 51O 54,科目齐全,可+急 +3 pnpwoqbg8f 2026-02-16 4/200 2026-02-18 07:40 by lotyj5cz79
[考研] 售SCI一区文章,我:8 O5 51O 54,科目齐全,可+急 +4 pnpwoqbg8f 2026-02-16 4/200 2026-02-18 07:38 by lotyj5cz79
[硕博家园] 售SCI一区文章,我:8 O5 51O 54,科目齐全,可+急 +4 pnpwoqbg8f 2026-02-16 4/200 2026-02-18 07:23 by lotyj5cz79
[论文投稿] 售SCI一区文章,我:8 O5 51O 54,科目齐全,可+急 +3 pnpwoqbg8f 2026-02-17 3/150 2026-02-18 00:40 by tk2gfblvuz
[找工作] 售SCI一区文章,我:8 O5 51O 54,科目齐全,可+急 +3 pnpwoqbg8f 2026-02-17 4/200 2026-02-18 00:23 by tk2gfblvuz
[公派出国] 售SCI一区文章,我:8 O5 51O 54,科目齐全,可+急 +3 pnpwoqbg8f 2026-02-17 3/150 2026-02-17 23:40 by tk2gfblvuz
[基金申请] 基金正文30页指的是报告正文还是整个申请书 +3 successhe 2026-02-16 4/200 2026-02-17 20:56 by successhe
[基金申请] 今年春晚有几个节目很不错,点赞! +5 瞬息宇宙 2026-02-16 6/300 2026-02-17 12:49 by jymy19840415
[微米和纳米] 球磨粉体时遇到了大的问题,请指教! 10+3 6sbiam 2026-02-12 15/750 2026-02-16 15:03 by tgzxzqj
[基金申请] 过年走亲戚时感受到了所开私家车的鄙视链 +3 瞬息宇宙 2026-02-15 5/250 2026-02-16 14:23 by aspect3000
[硕博家园] 江汉大学解明教授课题组招博士研究生/博士后 +3 cleverlyy 2026-02-12 3/150 2026-02-12 21:02 by qsdf1
信息提示
请填处理意见