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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 综合其他 » 请教TOF-SIMS的问题
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kevin123581

金虫 (正式写手)
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8楼: Originally posted by gxytju2008 at 2014-08-13 14:14:23
我能想到的能做定量的就是xps了，离子枪逐层溅射，或者如果厚度大直接做截面的扫描电镜，配合背散射或者Eds探头
...

sem +eds的我做过，但是图像有偏移，结果很不准确，所以才开始用的sims。 谢谢了
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11楼2014-08-14 12:21:17
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kevin123581

金虫 (正式写手)
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10楼: Originally posted by cdchen2003cd at 2014-08-13 16:58:45
你这个测试结果，C和Sr信号饱和了，更加无法计算含量

饱和是什么意思？  在那个厚度的地方确实全是C或者Si 的。
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12楼2014-08-14 12:22:23
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kevin123581

金虫 (正式写手)
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9楼: Originally posted by cdchen2003cd at 2014-08-13 16:57:14
用辉光放电光谱仪比较好，定量需要标准品，否则无法算出含量...

标准品是个什么概念？  比如，我晓得摸个地方的某种元素的准确含量作为参考？

谢谢
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13楼2014-08-14 12:24:53
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gxytju2008

专家顾问 (文坛精英)
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小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
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11楼: Originally posted by kevin123581 at 2014-08-14 12:21:17
sem +eds的我做过，但是图像有偏移，结果很不准确，所以才开始用的sims。 谢谢了...

嗯，偏移是有可能的，需要加大束流和电压，短时间采谱，不过确实SIMS也不是为了定量设计的，有WDS可以试试，可以定量
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14楼2014-08-14 13:40:32
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kevin123581

金虫 (正式写手)
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14楼: Originally posted by gxytju2008 at 2014-08-14 13:40:32
嗯，偏移是有可能的，需要加大束流和电压，短时间采谱，不过确实SIMS也不是为了定量设计的，有WDS可以试试，可以定量...

谢谢
WDS是什么设备？
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15楼2014-08-15 11:17:17
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cdchen2003cd

捐助贵宾 (正式写手)
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小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
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13楼: Originally posted by kevin123581 at 2014-08-14 12:24:53
标准品是个什么概念？  比如，我晓得摸个地方的某种元素的准确含量作为参考？

谢谢...

呵呵，第一次听说定量不使用标准品的。材料中不同元素含量和相同元素不同密度，其剥蚀速率都不相同。不用标准品去校正，我不知道你获得的数据有什么定量依据。一般标准品会采用纯的材料或则相似的材料，深度通过形貌仪，含量通过其他如ICP-MS或则SEM-EDS对应校正。
对了SIMS的定量效果比较差的，浓度的精确对在20%左右。
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16楼2014-08-15 11:52:14
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cdchen2003cd

捐助贵宾 (正式写手)
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小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
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12楼: Originally posted by kevin123581 at 2014-08-14 12:22:23
饱和是什么意思？  在那个厚度的地方确实全是C或者Si 的。...

你这图明明显示，在C和Sr平顶的地方还有cr\Ni等元素，你却说他是纯的。难道结果有问题？
为什么会平顶，是因为你这个地方元素含量太高，信号太强，超过了探测器的探测范围，饱和了。
你应该去找给你测试的人，让他调整参数，重测。
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17楼2014-08-15 12:00:57
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gxytju2008

专家顾问 (文坛精英)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
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15楼: Originally posted by kevin123581 at 2014-08-15 11:17:17
谢谢
WDS是什么设备？...

波谱仪，也是SEM配件
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18楼2014-08-15 12:21:52
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kevin123581

金虫 (正式写手)
引用回帖:
17楼: Originally posted by cdchen2003cd at 2014-08-15 12:00:57
你这图明明显示，在C和Sr平顶的地方还有cr\Ni等元素，你却说他是纯的。难道结果有问题？
为什么会平顶，是因为你这个地方元素含量太高，信号太强，超过了探测器的探测范围，饱和了。
你应该去找给你测试的人，让 ...

哦，测试的人告诉我的说是这样。
晓得了， 谢谢
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19楼2014-08-19 12:41:21
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kevin123581

金虫 (正式写手)
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18楼: Originally posted by gxytju2008 at 2014-08-15 12:21:52
波谱仪，也是SEM配件...

ok，谢谢
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20楼2014-08-19 12:41:36
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