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yiqiu127

铜虫 (小有名气)

[求助] 膜层厚度测试 已有7人参与

在玻璃上镀上化学膜层,如何精准地测试化学膜层厚度,具有用何种设备?非常感谢提供帮助的虫友
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一叶落而知一秋
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jedi-j

铁杆木虫 (职业作家)

【答案】应助回帖

★ ★ ★
感谢参与,应助指数 +1
yiqiu127: 金币+3, ★★★很有帮助 2014-06-24 21:31:21
1. 椭圆仪或反射仪(两者略有不同)
2. 台阶仪(最好有 shadow-mask,不然奇异笔比胶带好。)
3. 光学台阶仪
4. AFM
5. SEM/TEM
6. 四点探针,以阻值估膜厚

应该够全了~!
9楼2014-06-24 20:20:30
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gxytju2008

专家顾问 (文坛精英)

【答案】应助回帖


感谢参与,应助指数 +1
yiqiu127(chemlh代发): 金币+1, 欢迎积极交流 不错 2014-06-24 21:21:54
看厚度,透不透光,晶型,等等,可选的有sem,台阶仪,椭偏,xrd等等
2楼2014-06-22 15:59:03
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peterflyer

木虫之王 (文学泰斗)

peterflyer


【答案】应助回帖


感谢参与,应助指数 +1
yiqiu127(chemlh代发): 金币+1, 欢迎积极交流 不错 2014-06-24 21:22:06
测量薄膜的厚度就要使用椭偏仪了。当然也可在横截面磨样进行SEM观察和测量。
3楼2014-06-22 16:04:41
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松江学子

木虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
如果要经常测厚度,要求不是很高的话,可以买个镀层测厚仪,便宜点的几百块,能精确um级别
5楼2014-06-24 09:27:58
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