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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 测试表征 » 膜层厚度测试
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yiqiu127

铜虫 (小有名气)

[求助] 膜层厚度测试 已有7人参与

在玻璃上镀上化学膜层，如何精准地测试化学膜层厚度，具有用何种设备？非常感谢提供帮助的虫友
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一叶落而知一秋
1楼 2014-06-22 15:36:38
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回帖支持 ( 显示支持度最高的前 50 名 )

gxytju2008

专家顾问 (文坛精英)

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★
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yiqiu127(chemlh代发): 金币+1, 欢迎积极交流 不错 2014-06-24 21:21:54
看厚度，透不透光，晶型，等等，可选的有sem，台阶仪，椭偏，xrd等等
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2楼2014-06-22 15:59:03
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普通回帖

peterflyer

木虫之王 (文学泰斗)

peterflyer

【答案】应助回帖

★
感谢参与，应助指数 +1
yiqiu127(chemlh代发): 金币+1, 欢迎积极交流 不错 2014-06-24 21:22:06
测量薄膜的厚度就要使用椭偏仪了。当然也可在横截面磨样进行SEM观察和测量。
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3楼2014-06-22 16:04:41
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wanghuaxing

禁虫 (小有名气)
本帖内容被屏蔽
4楼2014-06-22 19:30:20
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松江学子

木虫 (小有名气)

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感谢参与，应助指数 +1
如果要经常测厚度，要求不是很高的话，可以买个镀层测厚仪，便宜点的几百块，能精确um级别
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5楼2014-06-24 09:27:58
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MQWYY3

银虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
玻璃上镀膜测SEM的话  不太合适，粗测量可以用台阶仪
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愿得一人心 白首不相离
6楼2014-06-24 11:47:25
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蓝色感恩者

银虫 (小有名气)

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感谢参与，应助指数 +1
抛磨光了，在高精度的显微镜下测量

[ 发自小木虫客户端 ]
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凡事皆是变数，故我们应当随缘，随缘是尽人事听天命
7楼2014-06-24 12:18:30
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chlfstorm

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
如果你的膜很薄，纳米级别的，那么可以用AFM；如果比较厚，微米级别，建议用台阶仪。
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8楼2014-06-24 13:31:21
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jedi-j

铁杆木虫 (职业作家)

【答案】应助回帖

★ ★ ★
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yiqiu127: 金币+3, ★★★很有帮助 2014-06-24 21:31:21
1. 椭圆仪或反射仪（两者略有不同）
2. 台阶仪（最好有 shadow-mask，不然奇异笔比胶带好。）
3. 光学台阶仪
4. AFM
5. SEM/TEM
6. 四点探针，以阻值估膜厚

应该够全了～！
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9楼2014-06-24 20:20:30
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yiqiu127

铜虫 (小有名气)
谢谢各位，我的膜厚是nm级的，如8楼所说，afm应该可以，我继续查一下文献
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一叶落而知一秋
10楼2014-06-24 21:30:52
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