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creepon

铁虫 (小有名气)

[求助] 什么溶液能刻蚀氧化硅,但是不会刻蚀氮化硅 已有2人参与

硅片上先张了氮化硅,又长了氧化硅。用什么溶液能刻蚀氧化硅,但是不会刻蚀氮化硅,最好也不要刻蚀硅片。

另外有氮化硅和氧化硅的硅片怎么清洗干净呢?用H2SO4+H2O2可以吗?
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creepon

铁虫 (小有名气)

引用回帖:
8楼: Originally posted by quanten at 2014-07-16 19:39:41
以我的知识,没有别的办法...

谢谢,是不是HF刻蚀氮化硅的速度比二氧化硅低很多?我记得很多文献是先用HF把二氧化硅除去,然后再用磷酸把氮化硅除去。
9楼2014-07-16 21:26:00
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zhenwuhuang

至尊木虫 (文学泰斗)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
刻蚀基础(转载)
http://tieba.baidu.com/p/722897781
3楼2014-06-11 14:44:08
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creepon

铁虫 (小有名气)

引用回帖:
2楼: Originally posted by changle9139 at 2014-06-11 14:38:58
氢氟酸可以不

氢氟酸会不会刻蚀硅片吗?
4楼2014-07-16 10:14:05
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creepon

铁虫 (小有名气)

引用回帖:
3楼: Originally posted by zhenwuhuang at 2014-06-11 14:44:08
刻蚀基础(转载)
http://tieba.baidu.com/p/722897781

谢谢,是不是氢氟酸可以刻蚀二氧化硅,而不会腐蚀氮化硅和硅片?
5楼2014-07-16 10:19:04
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