应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 什么溶液能刻蚀氧化硅，但是不会刻蚀氮化硅
51/1返回列表
查看: 3402  |  回复: 8
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看
当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖

creepon

铁虫 (小有名气)

[求助] 什么溶液能刻蚀氧化硅，但是不会刻蚀氮化硅 已有2人参与

硅片上先张了氮化硅，又长了氧化硅。用什么溶液能刻蚀氧化硅，但是不会刻蚀氮化硅，最好也不要刻蚀硅片。

另外有氮化硅和氧化硅的硅片怎么清洗干净呢？用H2SO4+H2O2可以吗？
回复此楼

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
1楼 2014-06-11 14:07:15
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

creepon

铁虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by changle9139 at 2014-06-11 14:38:58
氢氟酸可以不

氢氟酸会不会刻蚀硅片吗？
赞一下 回复此楼
4楼2014-07-16 10:14:05
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 9 个回答

zhenwuhuang

至尊木虫 (文学泰斗)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
刻蚀基础（转载）
http://tieba.baidu.com/p/722897781
赞一下 回复此楼
3楼2014-06-11 14:44:08
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

creepon

铁虫 (小有名气)
引用回帖:
3楼: Originally posted by zhenwuhuang at 2014-06-11 14:44:08
刻蚀基础（转载）
http://tieba.baidu.com/p/722897781

谢谢，是不是氢氟酸可以刻蚀二氧化硅，而不会腐蚀氮化硅和硅片？
赞一下 回复此楼
5楼2014-07-16 10:19:04
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

quanten

金虫 (著名写手)

QQ群(NW-FET): 157220400

【答案】应助回帖

氢氟酸通吃除了si
估计你是要做一个牺牲层，如果正确，可以更换材料，例如大家常用的Cr
赞一下 回复此楼
6楼2014-07-16 15:58:57
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 9 个回答
普通表情 龙 兔 虎 猫
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭