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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 什么溶液能刻蚀氧化硅，但是不会刻蚀氮化硅
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creepon

铁虫 (小有名气)

[求助] 什么溶液能刻蚀氧化硅，但是不会刻蚀氮化硅 已有2人参与

硅片上先张了氮化硅，又长了氧化硅。用什么溶液能刻蚀氧化硅，但是不会刻蚀氮化硅，最好也不要刻蚀硅片。

另外有氮化硅和氧化硅的硅片怎么清洗干净呢？用H2SO4+H2O2可以吗？
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1楼 2014-06-11 14:07:15
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zhenwuhuang

至尊木虫 (文学泰斗)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
刻蚀基础（转载）
http://tieba.baidu.com/p/722897781
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3楼2014-06-11 14:44:08
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creepon

铁虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by changle9139 at 2014-06-11 14:38:58
氢氟酸可以不

氢氟酸会不会刻蚀硅片吗？
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4楼2014-07-16 10:14:05
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creepon

铁虫 (小有名气)
引用回帖:
3楼: Originally posted by zhenwuhuang at 2014-06-11 14:44:08
刻蚀基础（转载）
http://tieba.baidu.com/p/722897781

谢谢，是不是氢氟酸可以刻蚀二氧化硅，而不会腐蚀氮化硅和硅片？
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5楼2014-07-16 10:19:04
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quanten

金虫 (著名写手)

QQ群(NW-FET): 157220400

【答案】应助回帖

氢氟酸通吃除了si
估计你是要做一个牺牲层，如果正确，可以更换材料，例如大家常用的Cr
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6楼2014-07-16 15:58:57
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