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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 什么溶液能刻蚀氧化硅，但是不会刻蚀氮化硅
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creepon

铁虫 (小有名气)

[求助] 什么溶液能刻蚀氧化硅，但是不会刻蚀氮化硅 已有2人参与

硅片上先张了氮化硅，又长了氧化硅。用什么溶液能刻蚀氧化硅，但是不会刻蚀氮化硅，最好也不要刻蚀硅片。

另外有氮化硅和氧化硅的硅片怎么清洗干净呢？用H2SO4+H2O2可以吗？
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1楼 2014-06-11 14:07:15
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creepon

铁虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by changle9139 at 2014-06-11 14:38:58
氢氟酸可以不

氢氟酸会不会刻蚀硅片吗？
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4楼2014-07-16 10:14:05
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creepon

铁虫 (小有名气)
引用回帖:
3楼: Originally posted by zhenwuhuang at 2014-06-11 14:44:08
刻蚀基础（转载）
http://tieba.baidu.com/p/722897781

谢谢，是不是氢氟酸可以刻蚀二氧化硅，而不会腐蚀氮化硅和硅片？
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5楼2014-07-16 10:19:04
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creepon

铁虫 (小有名气)
引用回帖:
6楼: Originally posted by quanten at 2014-07-16 15:58:57
氢氟酸通吃除了si
估计你是要做一个牺牲层，如果正确，可以更换材料，例如大家常用的Cr

你的意思是氢氟酸会把氮化硅也给腐蚀了？那用什么能只去除二氧化硅而不影响氮化硅和硅片？
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7楼2014-07-16 17:24:51
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creepon

铁虫 (小有名气)
引用回帖:
8楼: Originally posted by quanten at 2014-07-16 19:39:41
以我的知识，没有别的办法...

谢谢，是不是HF刻蚀氮化硅的速度比二氧化硅低很多？我记得很多文献是先用HF把二氧化硅除去，然后再用磷酸把氮化硅除去。
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9楼2014-07-16 21:26:00
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