应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 什么溶液能刻蚀氧化硅，但是不会刻蚀氮化硅
91/1返回列表
查看: 3500  |  回复: 8
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看

creepon

铁虫 (小有名气)

[求助] 什么溶液能刻蚀氧化硅，但是不会刻蚀氮化硅 已有2人参与

硅片上先张了氮化硅，又长了氧化硅。用什么溶液能刻蚀氧化硅，但是不会刻蚀氮化硅，最好也不要刻蚀硅片。

另外有氮化硅和氧化硅的硅片怎么清洗干净呢？用H2SO4+H2O2可以吗？
回复此楼

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
1楼 2014-06-11 14:07:15
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

changle9139

荣誉版主 (文坛精英)

优秀区长优秀区长优秀区长优秀版主优秀版主优秀版主
氢氟酸可以不
回复此楼
没个性不敢签名！
2楼2014-06-11 14:38:58
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

zhenwuhuang

至尊木虫 (文学泰斗)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
刻蚀基础（转载）
http://tieba.baidu.com/p/722897781
赞一下 回复此楼
3楼2014-06-11 14:44:08
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

creepon

铁虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by changle9139 at 2014-06-11 14:38:58
氢氟酸可以不

氢氟酸会不会刻蚀硅片吗？
赞一下 回复此楼
4楼2014-07-16 10:14:05
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

creepon

铁虫 (小有名气)
引用回帖:
3楼: Originally posted by zhenwuhuang at 2014-06-11 14:44:08
刻蚀基础（转载）
http://tieba.baidu.com/p/722897781

谢谢，是不是氢氟酸可以刻蚀二氧化硅，而不会腐蚀氮化硅和硅片？
赞一下 回复此楼
5楼2014-07-16 10:19:04
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

quanten

金虫 (著名写手)

QQ群(NW-FET): 157220400

【答案】应助回帖

氢氟酸通吃除了si
估计你是要做一个牺牲层，如果正确，可以更换材料，例如大家常用的Cr
赞一下 回复此楼
6楼2014-07-16 15:58:57
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

creepon

铁虫 (小有名气)
引用回帖:
6楼: Originally posted by quanten at 2014-07-16 15:58:57
氢氟酸通吃除了si
估计你是要做一个牺牲层，如果正确，可以更换材料，例如大家常用的Cr

你的意思是氢氟酸会把氮化硅也给腐蚀了？那用什么能只去除二氧化硅而不影响氮化硅和硅片？
赞一下 回复此楼
7楼2014-07-16 17:24:51
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

quanten

金虫 (著名写手)

QQ群(NW-FET): 157220400
引用回帖:
7楼: Originally posted by creepon at 2014-07-16 17:24:51
你的意思是氢氟酸会把氮化硅也给腐蚀了？那用什么能只去除二氧化硅而不影响氮化硅和硅片？...

以我的知识，没有别的办法
赞一下 回复此楼
8楼2014-07-16 19:39:41
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

creepon

铁虫 (小有名气)
引用回帖:
8楼: Originally posted by quanten at 2014-07-16 19:39:41
以我的知识，没有别的办法...

谢谢，是不是HF刻蚀氮化硅的速度比二氧化硅低很多？我记得很多文献是先用HF把二氧化硅除去，然后再用磷酸把氮化硅除去。
赞一下 回复此楼
9楼2014-07-16 21:26:00
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 creepon 的主题更新
91/1返回列表
普通表情 龙 兔 虎 猫
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 0703化学336分求调剂 +3 zbzihdhd 2026-03-15 4/200 2026-03-16 23:52 by zbzihdhd
[考研] 211本，11408一志愿中科院277分，曾在中科院自动化所实习 +3 Losir 2026-03-12 4/200 2026-03-16 21:52 by Losir
[考研] 333求调剂 +3 文思客 2026-03-16 7/350 2026-03-16 18:21 by 文思客
[基金申请] 今年的国基金是打分制吗？ 50+3 zhanghaozhu 2026-03-14 3/150 2026-03-16 17:07 by 北京莱茵润色
[考研] 一志愿211 0703方向310分求调剂 +3 努力奋斗112 2026-03-15 3/150 2026-03-16 16:44 by houyaoxu
[考研] 0703化学调剂 290分有科研经历，论文在投 +7 腻腻gk 2026-03-14 7/350 2026-03-16 10:12 by houyaoxu
[考博] 欢迎申博同学联系 +3 天道酬勤2026686 2026-03-10 7/350 2026-03-15 19:03 by 天道酬勤2026686
[考研] 0856专硕279求调剂 +5 加油加油！? 2026-03-15 5/250 2026-03-15 11:58 by 2020015
[考研] 22408总分284求调剂 +3 InAspic 2026-03-13 3/150 2026-03-15 11:10 by zhq0425
[考研] 材料工程,326分，求调剂 +6 KRSLSR 2026-03-10 6/300 2026-03-13 23:47 by JourneyLucky
[考研] 复试调剂 +9 Copy267 2026-03-10 9/450 2026-03-13 23:45 by userper
[考研] 0856材料与化工301求调剂 +5 奕束光 2026-03-13 5/250 2026-03-13 22:00 by 星空星月
[考研] 290求调剂 +9 ADT 2026-03-11 9/450 2026-03-13 21:55 by JourneyLucky
[考研] 311求调剂 +3 冬十三 2026-03-13 3/150 2026-03-13 20:41 by JourneyLucky
[硕博家园] 085600 260分求调剂 +3 天空还下雨么 2026-03-13 5/250 2026-03-13 18:46 by 天空还下雨么
[考研] 310求调剂 +3 【上上签】 2026-03-11 3/150 2026-03-13 16:16 by JourneyLucky
[考研] 工科278分求调剂 +5 周慢热啊 2026-03-12 7/350 2026-03-13 15:49 by JourneyLucky
[考研] 295求调剂 +3 小匕仔汁 2026-03-12 3/150 2026-03-13 15:17 by vgtyfty
[考研] 土木第一志愿276求调剂，科研和技能十分丰富，求新兴方向的导师收留 +3 土木小天才 2026-03-12 3/150 2026-03-13 15:01 by JourneyLucky
[考研] 321求调剂（食品/专硕） +3 xc321 2026-03-12 6/300 2026-03-13 08:45 by xc321
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭